教育裝備采購網(wǎng)：質(zhì)量流量控制器是用來對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行進(jìn)行精密測量與控制的一種儀器，他大量用于電子工藝設(shè)備中，如擴(kuò)散，氧化，外延，CVD，等離子刻蝕等，以及鍍膜設(shè)備，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等行業(yè)。
質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
M30系列氣體質(zhì)量流量控制器
推薦產(chǎn)品：M30系列氣體質(zhì)量流量控制器
M30系列氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。 這款控制器的主要特點(diǎn)有：流量檢測;不因?yàn)闇囟群蛪毫Φ牟▌佣?zhǔn);方便型的流量控制系統(tǒng);高準(zhǔn)確度;耐高壓(90bar);快速的響應(yīng)時間;高重復(fù)精度。
M30系列氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
流量范圍在0.005-125 SLPM之間;
響應(yīng)時間 ≤2s ;精度≤1%FS;
重復(fù)性±0.25%FS;
輸出信號為0-5vdc或4-20mA;
供電電壓為15-28vdc;
溫度范圍是0-50℃;
耐壓≤90Bar;機(jī)械接口A. 1/8" Compress b. 1/4" Compress c. 3/8Compress d. 1/4" VCR e. 1/4" VCO
(謝沂楠/編輯)
