2月19日，科技部網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于發(fā)布重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2016年度指南的通知，本指南共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器3類任務(wù)，下設(shè)10個重點(diǎn)方向，支持?jǐn)?shù)量不超過實(shí)施方案內(nèi)容的30%。
其中核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用中包括：源部件、探測器與傳感器、分析分離與控制部件;
高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)包括：分析儀器、 物理性能測試儀器、電子測量儀器、計(jì)量儀器;
專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范包括：支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的專業(yè)重大科學(xué)儀器、服務(wù)公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器、保障國家安全和公共安全的專業(yè)重大科學(xué)儀器。
此外，指南中還指出，項(xiàng)目成果是以市場前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)，一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究，商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研制等工作，以及臨床醫(yī)療儀器、生產(chǎn)設(shè)備、機(jī)械裝備、平臺建設(shè)等，不屬于本專項(xiàng)的支持方向。
詳細(xì)內(nèi)容如下：
“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)2016年度申報指南
科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和國防安全的重要保障。為切實(shí)提升我國科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和裝備水平，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級發(fā)展，支撐創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施，經(jīng)國家科技計(jì)劃戰(zhàn)略咨詢與綜合評審特邀委員會、國家科技計(jì)劃管理部際聯(lián)席會審議，“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)作為2016年度啟動的專項(xiàng)之一，并正式進(jìn)入實(shí)施階段。
一、指導(dǎo)原則與主要目標(biāo)
本專項(xiàng)堅(jiān)持問題導(dǎo)向、需求導(dǎo)向原則，緊扣我國科技創(chuàng)新、經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展對科學(xué)儀器設(shè)備的重大需求，充分考慮我國現(xiàn)有基礎(chǔ)和能力，在繼承和發(fā)展“十二五”期間國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果的基礎(chǔ)上，堅(jiān)持政府引導(dǎo)、企業(yè)主導(dǎo)，立足當(dāng)前、著眼長遠(yuǎn)，整體推進(jìn)、重點(diǎn)突破的原則，以關(guān)鍵核心技術(shù)和部件的自主研發(fā)為突破口，聚焦高端通用科學(xué)儀器設(shè)備和專業(yè)重大科學(xué)儀器設(shè)備的儀器開發(fā)、應(yīng)用開發(fā)、工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，帶動科學(xué)儀器系統(tǒng)集成創(chuàng)新，有效提升我國科學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)整體創(chuàng)新水平與自我裝備能力。
通過本專項(xiàng)的實(shí)施，構(gòu)建“儀器原理驗(yàn)證→關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)(軟硬件)→系統(tǒng)集成→應(yīng)用示范→產(chǎn)業(yè)化”的國家科學(xué)儀器開發(fā)鏈條，完善產(chǎn)學(xué)研用融合、協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展的成果轉(zhuǎn)化與合作模式，激發(fā)行業(yè)、企業(yè)活力和創(chuàng)造力。強(qiáng)化技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)，引入重要用戶應(yīng)用示范、拓展產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域，大幅提升我國科學(xué)儀器行業(yè)可持續(xù)發(fā)展能力和核心競爭力。
本專項(xiàng)按照全鏈條部署、一體化實(shí)施的原則，共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器3類任務(wù)，下設(shè)10個重點(diǎn)方向，本指南為重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2016年度指南，支持?jǐn)?shù)量不超過實(shí)施方案內(nèi)容的30%。
二、總體要求
1. 專項(xiàng)定位
本專項(xiàng)充分利用國家科技計(jì)劃(專項(xiàng)、基金)或其他渠道，已取得的相關(guān)檢測原理、方法、技術(shù)或科研裝置，開展系統(tǒng)集成、應(yīng)用開發(fā)和工程化開發(fā)，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、“皮實(shí)耐用”和功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品，并服務(wù)科學(xué)研究和經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展。項(xiàng)目成果是以市場前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)(一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究，商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研制等工作，以及臨床醫(yī)療儀器、生產(chǎn)設(shè)備、機(jī)械裝備、平臺建設(shè)等，不屬于本專項(xiàng)的支持方向)。
2. 申報主體
結(jié)合本專項(xiàng)的特點(diǎn)和定位，如無特殊說明，本指南所設(shè)項(xiàng)目均由有條件的企業(yè)牽頭申報。鼓勵企業(yè)結(jié)合國家需求和自身發(fā)展需要，聯(lián)合科研院所和高等學(xué)校的優(yōu)勢力量參與項(xiàng)目研發(fā)工作(主要為企業(yè)提供所需的技術(shù)支撐)，落實(shí)目標(biāo)任務(wù)明確、產(chǎn)權(quán)和利益分配明晰的產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合機(jī)制。同時，要采取有效措施，切實(shí)發(fā)揮企業(yè)在專項(xiàng)中的技術(shù)創(chuàng)新決策、研發(fā)投入、項(xiàng)目實(shí)施組織和成果轉(zhuǎn)化等方面的主體地位作用。
3. 支持方式
本專項(xiàng)每個指南方向下的項(xiàng)目可支持1—2項(xiàng)，實(shí)施“后端資助”機(jī)制。即，結(jié)合科學(xué)儀器開發(fā)的特點(diǎn)，以及我國科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展實(shí)際，強(qiáng)化利益共享、風(fēng)險分擔(dān)機(jī)制，對企業(yè)承擔(dān)的項(xiàng)目，實(shí)施專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)后端資助政策。項(xiàng)目立項(xiàng)后，前半段主要由承擔(dān)單位自籌經(jīng)費(fèi)實(shí)施，資助20%的專項(xiàng)經(jīng)費(fèi);經(jīng)中期評估確認(rèn)，項(xiàng)目進(jìn)展順利、能夠達(dá)到預(yù)期目標(biāo)、科研管理和項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)管理規(guī)范的項(xiàng)目，后半段再主要由專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)給予支持。
4. 立項(xiàng)要求
4.1 項(xiàng)目基本要求
1)國內(nèi)外需求迫切，目標(biāo)儀器設(shè)備應(yīng)用單位明確且具有代表性，相關(guān)原理、方法或技術(shù)已取得重要突破，能形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)和市場競爭力的核心部件與科學(xué)儀器產(chǎn)品。
2)目標(biāo)核心部件與儀器設(shè)備整體設(shè)計(jì)完整、結(jié)構(gòu)清晰合理，技術(shù)路線(含軟件開發(fā))可行，工程化方案、應(yīng)用開發(fā)方案可操作性強(qiáng);項(xiàng)目質(zhì)量管理和產(chǎn)業(yè)化策劃、企業(yè)資質(zhì)和能力、知識產(chǎn)權(quán)和利益分配等非技術(shù)內(nèi)容可行。
3)擁有本領(lǐng)域的核心關(guān)鍵人才，且具有相關(guān)理論研究、設(shè)計(jì)、工程工藝、系統(tǒng)集成、應(yīng)用研究以及產(chǎn)業(yè)化研究等相關(guān)方面結(jié)構(gòu)合理的人員隊(duì)伍。
4)對核心部件類項(xiàng)目：原則上承擔(dān)單位主營業(yè)務(wù)為核心部件生產(chǎn)企業(yè)，項(xiàng)目實(shí)施后能夠獲得全部自主知識產(chǎn)權(quán)，技術(shù)就緒度達(dá)到7級以上，并在相關(guān)儀器主要生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用，形成一定市場規(guī)模，產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益。
5)對儀器整機(jī)類項(xiàng)目：充分利用國家科技計(jì)劃(專項(xiàng)、基金)或其它渠道，已取得的相關(guān)檢測原理、方法、技術(shù)或科研裝置成果，開展系統(tǒng)集成、工程技術(shù)研究和應(yīng)用開發(fā)，形成“皮實(shí)耐用”、功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品，并服務(wù)科學(xué)研究和經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展。根據(jù)科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)和應(yīng)用的自身規(guī)律，每一個項(xiàng)目應(yīng)包括儀器開發(fā)(含軟件開發(fā))、應(yīng)用開發(fā)、工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)等類型工作。除儀器設(shè)備開發(fā)單位外，產(chǎn)業(yè)化單位、應(yīng)用單位也應(yīng)從項(xiàng)目設(shè)計(jì)開始，全程參與項(xiàng)目的組織和實(shí)施工作。項(xiàng)目實(shí)施三年后，目標(biāo)儀器技術(shù)就緒度達(dá)到7級以上，可形成一定市場規(guī)模，產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益。
4.2 企業(yè)承擔(dān)項(xiàng)目的基本要求
(1)在中國大陸境內(nèi)注冊，具有較強(qiáng)科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力，運(yùn)行管理規(guī)范，具有獨(dú)立法人資格;
(2)經(jīng)高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定或達(dá)到同等條件;
(3)項(xiàng)目與企業(yè)重點(diǎn)發(fā)展方向相符;
(4)與項(xiàng)目參與單位具有前期合作基礎(chǔ);
(5)與項(xiàng)目參與單位事先簽署具有法律約束力的協(xié)議，明確任務(wù)分工、國撥經(jīng)費(fèi)分配、成果和識產(chǎn)權(quán)歸屬及利益分配機(jī)制;
(6)企業(yè)投入的自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)與國撥經(jīng)費(fèi)投入比例不低于1：1。投入的自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)應(yīng)用于項(xiàng)目研發(fā)活動，而不得用于生產(chǎn)線、廠房等產(chǎn)業(yè)化能力建設(shè)。
4.3 項(xiàng)目組織要求
(1)項(xiàng)目推薦單位要加強(qiáng)本部門、本地區(qū)、本行業(yè)領(lǐng)域科學(xué)儀器設(shè)備發(fā)展的頂層設(shè)計(jì)、資源整合和扶持培育。
(2)項(xiàng)目推薦單位要組織項(xiàng)目牽頭單位，會同產(chǎn)、學(xué)、研、用等各方面，積極開展項(xiàng)目設(shè)計(jì)和策劃工作。在項(xiàng)目設(shè)計(jì)時，既要注重技術(shù)問題，也要注重工程化和產(chǎn)業(yè)化策劃、企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù)問題。
(3)項(xiàng)目推薦單位要督促項(xiàng)目承擔(dān)單位在項(xiàng)目提出時落實(shí)法人負(fù)責(zé)制、落實(shí)項(xiàng)目配套條件;督促項(xiàng)目承擔(dān)單位聯(lián)合國內(nèi)外優(yōu)勢力量共同開展項(xiàng)目設(shè)計(jì)和實(shí)施。
(4)項(xiàng)目推薦單位在組織推薦過程中要充分發(fā)揮專家的咨詢作用。除考慮技術(shù)可行性外，還應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注工程化和產(chǎn)業(yè)化策劃、企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù)內(nèi)容。在此基礎(chǔ)上，擇優(yōu)向科技部推薦項(xiàng)目。
三、主要任務(wù)
1. 核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用
攻克源部件、探測器與傳感器、分析分離與控制部件等科學(xué)儀器核心部件的關(guān)鍵技術(shù)，研究部件的核心關(guān)鍵材料以及生產(chǎn)工藝，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的核心關(guān)鍵部件。
共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試，技術(shù)就緒度達(dá)到9級，至少應(yīng)用于2種類型儀器。
原則上，每個項(xiàng)目下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過6個，承擔(dān)單位數(shù)不超過6個。
1.1 源部件
1.1.1 光源
(1)高強(qiáng)度、高穩(wěn)定空心陰極燈
研究內(nèi)容：研發(fā)高強(qiáng)度、高穩(wěn)定空心陰極燈，優(yōu)化空心陰極燈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，研究合金陰極材料組成及制作工藝，改善空心陰極燈生產(chǎn)工藝，研制空心陰極燈性能測試特殊裝置，研究影響噪聲、同心度等關(guān)鍵指標(biāo)的因素及改善方法。開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力。為原子吸收光譜儀和原子熒光光譜儀等儀器提供核心部件。
考核指標(biāo)：穩(wěn)定性指標(biāo)，銅燈在30 min內(nèi)基線漂移<0.2%，其它元素?zé)粼? min內(nèi)基線漂移<0.6%;普通元素?zé)舻氖褂脡勖?000 mA.h，易熔、易揮發(fā)元素?zé)簟?000 mA.h;改善空心陰極燈性能，燈噪聲≤±0.2% T，燈旋轉(zhuǎn)360°的能量偏移<10%。應(yīng)提出明確合理的可靠性指標(biāo)要求，項(xiàng)目完成時，目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)參照國家或行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測試。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷量達(dá)到2萬支。
實(shí)施年限：不超過3年
1.1.2 射頻源
(1)ICP射頻源
研究內(nèi)容：開發(fā)ICP射頻源，研究大功率射頻自激發(fā)生、頻率鎖相、功率調(diào)諧和高效散熱技術(shù)，開發(fā)能夠有效的降低等離子體電勢的全固態(tài)自激式電感耦合等離子體射頻源;實(shí)施ICP射頻源的工程化和工藝化開發(fā)，形成可靠的產(chǎn)品，解決相關(guān)國產(chǎn)儀器對高性能射頻源關(guān)鍵部件需求的難題。
考核指標(biāo)：工作頻率27.12 MHz，頻率穩(wěn)定度±0.02%，功率輸出0.6～1.6 kW可調(diào)。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷量達(dá)到100只以上。
實(shí)施年限：不超過3年
(2)雙相射頻源
研究內(nèi)容：開發(fā)雙相射頻源，研究雙相射頻源高精度驅(qū)動與高穩(wěn)定反饋、過載保護(hù)電路、輔助激發(fā)信號耦合與雙相射頻電源數(shù)字控制技術(shù)，開發(fā)能夠精密驅(qū)動線性離子阱的雙相射頻高壓電源;實(shí)施雙相射頻源的工程化和工藝化開發(fā)，形成穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，有效解決相關(guān)國產(chǎn)儀器對高性能雙相射頻源關(guān)鍵部件的需求。
考核指標(biāo)：射頻高壓最大2 kVpp，頻率0.9～2 MHz，輔助信號帶寬50 kHz～450 kHz;射頻高壓最大10 kVpp，頻率1 M～1.2 MHz，輔助信號帶寬10 k～550 kHz。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到100套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.1.3 新型質(zhì)譜離子源
研究內(nèi)容：研究敞開式離子化新技術(shù)，研制新型電噴霧、介質(zhì)阻擋放電、激光/氣體輔助噴霧和高度集成化敞開式的離子源，開展新離子化應(yīng)用方法開發(fā)和數(shù)據(jù)庫構(gòu)建，實(shí)施新離子源的工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，滿足原位實(shí)時快速分析、單細(xì)胞分析、質(zhì)譜成像分析、超痕量樣品分析需求，推動我國質(zhì)譜離子化技術(shù)與裝置的跨越式發(fā)展。
考核指標(biāo)：形成6種以上具有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型敞開式質(zhì)譜離子源產(chǎn)品，有力支撐食品安全、環(huán)境應(yīng)急、新藥研發(fā)、現(xiàn)場快檢、生物研究、質(zhì)譜成像、公共安全等質(zhì)譜檢測應(yīng)用。形成敞開式質(zhì)譜離子源工藝化、產(chǎn)業(yè)化基地，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到40套以上。
實(shí)施年限：不超過3年
有關(guān)說明：每個項(xiàng)目形成5種以上不同的離子源產(chǎn)品。
1.2 探測器與傳感器
1.2.1 光探測器
(1)光電倍增管
研究內(nèi)容：開發(fā)側(cè)窗型、端窗型光電倍增管，研究側(cè)窗型、端窗型光電倍增管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，優(yōu)化陰極材料及倍增極材料配方和制作工藝，研究包括激活工藝、封裝工藝等在內(nèi)的各環(huán)節(jié)生產(chǎn)工藝，探究影響光電倍增管靈敏度、暗電流、響應(yīng)時間等關(guān)鍵性能的因素及改進(jìn)方法，進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為分析儀器、輻射測量儀器、高能物理研究、石油測井及軍用設(shè)備提供關(guān)鍵部件。
考核指標(biāo)：陽極光照靈敏度≥300 A/lm(典型值);最大暗電流<50 nA(30分鐘后);增益>106。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到500支。
實(shí)施年限：不超過3年
(2)太赫茲探測器
研究內(nèi)容：研制基于柵控二維電子氣的新型室溫太赫茲探測器，突破場效應(yīng)混頻探測器芯片及其模塊制造的關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)全國產(chǎn)化。建立定量化的場效應(yīng)混頻探測器模型和模擬仿真技術(shù);從外延材料、天線設(shè)計(jì)、阻抗匹配到模塊化集成實(shí)現(xiàn)場效應(yīng)混頻探測器的優(yōu)化設(shè)計(jì);開發(fā)納米柵極及其低漏電率的工藝制備技術(shù);研究二維電子氣場效應(yīng)閾值電壓的調(diào)控技術(shù)，研制兩端結(jié)構(gòu)的高靈敏度太赫茲場效應(yīng)混頻探測器。
考核指標(biāo)：研制成0.1～1.1 THz波段內(nèi)系列化的室溫太赫茲場效應(yīng)混頻探測器芯片及其模塊，滿足室溫下高靈敏度的太赫茲波探測需求。0.11、0.22、0.34、0.65和0.90 THz探測器芯片的等效噪聲功率小于10 pW/Hz1/2;響應(yīng)度大于2800 V/W;帶寬大于80 GHz;響應(yīng)時間小于100 ns;硅透鏡和波導(dǎo)喇叭集成的兩種探測器模塊。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到100套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.2.2 輻射探測器
研究內(nèi)容：攻克高密度快衰減無機(jī)閃爍晶體生長及陣列加工制備、PIPS探測器的高阻硅材料研制、吸收區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及漏電流工藝控制等關(guān)鍵技術(shù)，建立輻射探測器成套的完整生產(chǎn)、測試工藝，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高性能(高能量分辨率、高空間分辨率、高時間分辨率)、高可靠性輻射探測器系列產(chǎn)品，開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究，形成批量生產(chǎn)能力，為醫(yī)療診斷儀器、工業(yè)無損探測儀器和核輻射環(huán)境檢測儀器提供核心關(guān)鍵部件。
考核指標(biāo)：輻射探測器實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化和批量生產(chǎn)，基本滿足我國科學(xué)儀器和工業(yè)應(yīng)用對輻射探測器的需要。閃爍晶體探測器光輸出≥45000 ph/MeV;衰減時間≤100 ns;密度≥6.5 g/cc;能量分辨率≤9%@662 keV;陣列規(guī)格：4×4～16×16;PIPS輻射探測器靈敏面積13 mm2;暗電流小于2 nA;擊穿電壓大于100 V。位置靈敏型閃爍探測器像素面積1 mm×1 mm～6 mm×6 mm;暗電流<500 nA;脈沖恢復(fù)時間<50 ns;幾何填充因子>60%;PDE在380 nm～550 nm范圍內(nèi)最小值不小于30%;批量生產(chǎn)90%以上產(chǎn)品雪崩電壓偏差<±0.2 V;雪崩電壓隨溫度變化系數(shù)<50 mV/℃;后脈沖<0.5%;微像素間串?dāng)_<10%;本征位置分辨率≤0.5 mm;能量分辨率能量分辨率≤12%@662 keV;時間分辨率≤300 ps。X射線成像探測器靈有效靈敏面積≥100×100 mm2，CMOS讀出工藝;X射線空間分辨率≥15 lp/mm能量響應(yīng)范圍：30～160 keV。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到1000支。
實(shí)施年限：不超過3年
1.2.3 物理量探測器
(1)超高溫溫度和壓力傳感器
研究內(nèi)容：攻克信號背景噪聲抑制、高速動態(tài)光譜采集、高精度信號反演等關(guān)鍵技術(shù)，研究超高溫環(huán)境下工作材料試驗(yàn)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工制作工藝、校準(zhǔn)與標(biāo)定方法，解決超高溫環(huán)境下溫度、壓力和振動參數(shù)原位測量問題，研究超高溫環(huán)境下溫度和壓力傳感器靜態(tài)和動態(tài)特性測試技術(shù)，開發(fā)高性光路系統(tǒng)、信號采集系統(tǒng)以及溫度反演軟件等，解決長期制約我國燃煤燃?xì)?a href="http://www.buyu5683.com/Product/T2113/list_p_1.shtml" target="_blank">鍋爐、航空發(fā)動機(jī)等試驗(yàn)參數(shù)原位測量問題，為我國自主研制航空發(fā)動機(jī)、高超發(fā)動機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)等先進(jìn)能源動力系統(tǒng)提供有力支撐。
考核指標(biāo)：對于高溫溫度傳感器，溫度測量范圍—50～1800 ℃，響應(yīng)時間200 ms，綜合精度±5%;對于高溫壓力傳感器考核指標(biāo)，工作溫度范圍—50～1200 ℃，頻響范圍：0～200 Hz，壓力測量范圍0～400 kP，綜合精度±5%(—50～500 ℃)、±10%(500～1200 ℃);對于高溫振動傳感器工作溫度范圍0～1200 ℃，頻響范圍0～1 MHz，振動測量量程10 g。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到1000套。
實(shí)施年限：不超過3年
(2)高端應(yīng)變式傳感器
研究內(nèi)容：攻克應(yīng)變式傳感器多因素耦合計(jì)量特性仿真設(shè)計(jì)理論;研究高性能彈性體、應(yīng)變計(jì)、粘貼劑及傳感器生產(chǎn)工藝;研究高穩(wěn)定度傳感器檢測技術(shù);形成自主知識產(chǎn)權(quán)的高端應(yīng)變式傳感器及其檢測技術(shù)。并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，滿足我國力學(xué)量值傳遞、航空航天臺架測試、工業(yè)生產(chǎn)過程控制等領(lǐng)域?qū)α鞲衅鞯男枨螅蚱脐P(guān)鍵領(lǐng)域國外產(chǎn)品的壟斷，為中國制造2025提供測量技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：量程為1 kN～2 MN，應(yīng)用于國內(nèi)量值傳遞領(lǐng)域的參考標(biāo)準(zhǔn)傳感器或傳遞標(biāo)準(zhǔn)傳感器，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。線性≤0.01% FS;重復(fù)性≤0.002% FS;復(fù)現(xiàn)性≤0.005% FS;長期穩(wěn)定度≤0.005%/年FS。實(shí)現(xiàn)量值傳遞等領(lǐng)域使用的高端傳感器的產(chǎn)業(yè)化;促進(jìn)傳感器產(chǎn)品質(zhì)量的提高。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到50套。
實(shí)施年限：不超過3年
(3)精密位置傳感器
研發(fā)內(nèi)容：針對高端數(shù)控機(jī)床、3D打印、幾何量計(jì)量、精密轉(zhuǎn)臺等應(yīng)用需求，開發(fā)大量程、高精度金屬光柵，突破金屬光柵納米壓印成型工藝、新型光柵結(jié)構(gòu)、高性能光柵讀數(shù)、光柵校準(zhǔn)和誤差補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)大量程、高精度長度測量與高精度動態(tài)角度測量等性能，在航空航天、機(jī)器人、機(jī)床等行業(yè)開展示范應(yīng)用，在此基礎(chǔ)上開展工程化研發(fā)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高精度金屬光柵，替代國外進(jìn)口，為我國先進(jìn)制造及制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級提供關(guān)鍵部件。
考核指標(biāo)：平面光柵精度±0.5 μm/m。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到200個。
實(shí)施年限：不超過3年
1.2.4 化學(xué)生物傳感器
研究內(nèi)容：攻克基于紅外特征分子光譜、集成光學(xué)免疫傳感以及電化學(xué)測量的關(guān)鍵技術(shù);研究高特異性、高親和力植物激素識別分子的方法和技術(shù)，并建立相應(yīng)的生物傳感測定技術(shù);研究基于基因工程生物放大原理的特異型生物傳感器、主要植物激素的高靈敏生物傳感器，建立特定結(jié)構(gòu)分子的識別元件庫。建成基于傳感器的成套高靈敏在線測量系統(tǒng)，滿足研究大氣、環(huán)境、疾病等領(lǐng)域二次污染形成機(jī)理研究和生物醫(yī)學(xué)研究的需求。
考核指標(biāo)：針對含氮化合物N2O等大氣氣體檢測支持多檔量程，在0～10 ppm量程，分辨率達(dá)到0.001 ppm，氣體類檢測穩(wěn)定運(yùn)行時間不少于3年，期間免校準(zhǔn);基于免疫或核酸適配體的電、光、磁傳感器，針對血液或體液特定分子開展快速檢驗(yàn)，如甲胎蛋白、肌紅蛋白等標(biāo)志物等特診分子，特征分子體系不少于30種標(biāo)志物;基于基因工程生物放大原理的新型生物傳感器，實(shí)現(xiàn)不少于10種腫瘤標(biāo)志物等特定生物分子目標(biāo)檢測;10種主要植物激素的高靈敏生物傳感器。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到500套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.3 分析分離與控制部件
1.3.1 光柵
研究內(nèi)容：開發(fā)體光柵，研究寬光譜基底材料的配方及制備工藝技術(shù)、高效率體全息曝光記錄技術(shù)、高損傷閾值技術(shù)和熱定影技術(shù)，研究高光譜選擇性和高角度選擇性的體全息光柵性能優(yōu)化與制作工藝。進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為激光器行業(yè)、精密制造行業(yè)和國防工業(yè)提供核心關(guān)鍵部件。
考核指標(biāo)：完成體光柵在3種以上典型儀器的集成應(yīng)用示范，衍射效率>95%，適用光譜范圍400 nm～2600 nm，光譜透過率>90%，損傷閾值20 J/cm2。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到80套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.3.2 泵
(1)高精度超高壓液相泵
研究內(nèi)容：開發(fā)高精度超高壓液相泵，研究耐高壓泵的制作工藝，攻克降低流量脈動和死體積的關(guān)鍵技術(shù)，研究影響產(chǎn)品可靠性的因素，開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究，形成批量生產(chǎn)能力，為國產(chǎn)超高壓液相色譜儀發(fā)展提供核心關(guān)鍵部件。
考核指標(biāo)：最大工作壓力≥100 MPa(1 mL/min流速);流量準(zhǔn)確度≤1.0%;流量精度≤0.06% RSD;一定條件下連續(xù)運(yùn)行1000 h不漏液;死體積小于微升級別。滿足超高相液相色譜梯度分析需求，故障率低。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到100套。
實(shí)施年限：不超過3年
(2)精密微量注射泵
研究內(nèi)容：開發(fā)精密微量注射泵，研究微量流體流量控制的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性的方法，研究制作工藝及制作材料，開展可靠性設(shè)計(jì)與測試，為流動注射分析儀、液相色譜儀、質(zhì)譜儀等提供關(guān)鍵部件，滿足多種實(shí)驗(yàn)需求。
考核指標(biāo)：流量范圍為0.01～50 mL;準(zhǔn)確度<0.5%;精度<0.05% CV;不漏液，耐腐蝕。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到500套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.3.3 流量控制部件
研究內(nèi)容：開發(fā)高精度、高穩(wěn)定性、反控能力強(qiáng)的電子流量控制系統(tǒng)，研究流量控制精度及準(zhǔn)確性的影響因素，攻克關(guān)鍵材料、關(guān)鍵零部件、算法等方面的關(guān)鍵技術(shù)，研究改善流量及壓力穩(wěn)定時間的方法。提升國產(chǎn)氣相色譜儀智能化程度及性能。
考核指標(biāo)：流量及壓力穩(wěn)定時間≤5 s;流量控制精度≤0.001 psi;滿量程偏差≤5%。具備溫度補(bǔ)償功能。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到500套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.3.4 自動進(jìn)樣器
研究內(nèi)容：開發(fā)高可靠、高性能自動進(jìn)樣器，研究產(chǎn)品制作工藝，研究影響質(zhì)量可靠性的因素和保障措施，開發(fā)頂空進(jìn)樣、固相微萃取、吹掃捕集、在線過濾、富集和分析等功能。為質(zhì)譜、色譜等化學(xué)分析儀器、生命科學(xué)儀器配套。
考核指標(biāo)：進(jìn)樣重復(fù)性RSD<0.2%，樣品殘留<0.01%，定位精度優(yōu)于0.2 mm。發(fā)明專利3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到100套。
實(shí)施年限：不超過3年
1.3.5 樣品前處理儀
研究內(nèi)容：攻克在線提取、濃縮凈化、蒸餾分離的多元自動化控制、在線聯(lián)機(jī)、微痕量破碎等前處理關(guān)鍵技術(shù)，研制智能加樣、加載、分離、液面分層感應(yīng)、色度識別、微流控等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)農(nóng)、食產(chǎn)品安全、環(huán)保等領(lǐng)域的樣品前處理的往復(fù)式在線數(shù)控提取儀、多道自動濃縮儀、程序消解儀、微流控核酸提取儀、高通量微量破碎儀、DNA富集“磁力槍”及多功能集成處理系統(tǒng)，軟件研究基于高精度激光光衍射算法，實(shí)現(xiàn)單元獨(dú)立控制和多元集成控制，達(dá)到破碎、消解、提取及濃縮等操作全程自動化，開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，可與液相色譜、氣相色譜、質(zhì)譜、定量PCR儀、基因測序儀等聯(lián)機(jī)匹配。
考核指標(biāo)：研發(fā)前處理儀器不少于10種，實(shí)現(xiàn)色度識別數(shù)字化，高壓制樣、富集等一體化，多道處理連續(xù)化?；厥章?、重復(fù)性等技術(shù)指標(biāo)符合相關(guān)分析方法標(biāo)準(zhǔn)要求，滿足食品安全、環(huán)保、生物技術(shù)等領(lǐng)域樣品前處理快速、高通量、自動化需求。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)銷售達(dá)到500套。
實(shí)施年限：不超過5年
2. 高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)
攻克分析儀器、物理性能測量儀器、電子測量儀器和計(jì)量儀器開發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)。
共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試，技術(shù)就緒度不低于8級。
原則上，每個項(xiàng)目下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過8個，承擔(dān)單位數(shù)不超過10個。
2.1 分析儀器
2.1.1 基于射線類的顯微成像儀
研究內(nèi)容：攻克多能譜光子計(jì)數(shù)X射線成像、多模態(tài)X射線成像、X射線成像探測器封裝和集成工藝等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)基于多能譜光子技術(shù)X射線的圖像重建算法和處理軟件，形成具有自主只是產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的基于射線類顯微成像儀。并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決小型化和產(chǎn)品化問題，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力，實(shí)現(xiàn)生物體內(nèi)器官和組織的深度、密度、體積等參數(shù)快速采集和全方位成像或結(jié)構(gòu)件的顯微成像，為核醫(yī)學(xué)研究、工業(yè)無損探測和安全檢查等領(lǐng)域提供技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：分辨率優(yōu)于3.6 lp/mm，最高計(jì)數(shù)率108/mm2S，多能譜甄選閾值8能區(qū)，單系統(tǒng)成像面積400 mm2，并可擴(kuò)展拼接，單系統(tǒng)像素單元256×256像素尺寸100 μm。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)產(chǎn)值達(dá)到1.5億元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.1.2 高分辨熒光顯微成像儀
研究內(nèi)容：攻克光切面成像、動態(tài)成像、熒光標(biāo)記與共定位、三維空間還原、定量或半定量分析、單分子熒光探測、熒光漂白后恢復(fù)技術(shù);以及高速高精度掃描控制技術(shù)。研制復(fù)眼照明、高精度Z軸調(diào)焦、微分干涉、熒光濾色塊、平場復(fù)消色差物鏡等關(guān)鍵部件和模塊。開發(fā)四維全自動分析測量軟件。形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高分辨熒光微分干涉顯微鏡。進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，實(shí)現(xiàn)對活體組織微觀結(jié)構(gòu)、各種腫瘤細(xì)胞的顯微成像，為細(xì)胞組學(xué)、基因組學(xué)、蛋白組學(xué)、腫瘤學(xué)等研究提供技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：具有復(fù)眼照明、高精度調(diào)焦、微分干涉、圖像分析，四維全自動分析等功能，平場復(fù)消色差物鏡，最高100倍，數(shù)值孔徑大于1.4，分辨率<0.2 μm，發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到3000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.1.3 小型高靈敏度低能射線納米尺度三維成像儀器
研究內(nèi)容：攻克超高靈敏度低能射線探測、超高增益光信號采集、系統(tǒng)小型化等關(guān)鍵技術(shù)，研制激光等離子體低能量射線發(fā)生器、探測器等關(guān)鍵部件，開發(fā)組織深度、密度、體積等信息的快速采集軟件系統(tǒng)，構(gòu)建相關(guān)數(shù)據(jù)庫，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的小型化、靈敏度高、分辨率高、成像速度快的低能射線納米尺度三維成像儀。開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，應(yīng)用于生物體內(nèi)器官、組織的空間結(jié)構(gòu)、物理性質(zhì)等信息的快速采集、分析和融合。
考核指標(biāo)：可實(shí)現(xiàn)單光子級別檢測，光電信號增益大于106，在2D成像時間低于30 s、3D成像時間低于15 min的情況下分辨率優(yōu)于50 nm。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到5000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.1.4 高分辨共軛激光顯微斷層成像儀
研究內(nèi)容：攻克共軛激光顯微高分辨及快速成像關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)高靈敏度弱光探測器、高精度掃描機(jī)電平臺等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)超快響應(yīng)速度、超高探測效率、超寬光譜探測范圍的探測系統(tǒng)。開發(fā)相關(guān)軟件系統(tǒng)和數(shù)據(jù)庫，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高分辨共軛激光顯微斷層成像儀，實(shí)現(xiàn)該儀器圖像分辨率和成像速度的同時提高，滿足對活體組織結(jié)構(gòu)動態(tài)、定量、三維的顯微觀測需求。
考核指標(biāo)：光電探測靈敏度達(dá)到單光子級別、光譜有效探測范圍350 nm～850 nm、光探測效率60%、成像響應(yīng)時間80 ns、成像速度300幀/秒、平面分辨率0.15 μm、軸向分辨率10 nm。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到5000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.2 物理性能測試儀器
2.2.1 差式掃描量熱儀
研究內(nèi)容：攻克寬幅變溫與控溫、高溫磁場耦合、磁環(huán)境精密測量、微型加熱與樣品固定等關(guān)鍵技術(shù)，研制寬幅變溫控溫和磁—熱—電耦合等關(guān)鍵部件，開展磁場環(huán)境熱分析儀器綜合集成，開發(fā)溫度和磁場精確控制、信號傳輸補(bǔ)償與校正、數(shù)據(jù)分析等軟件，豐富儀器功能，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的差式掃描量熱儀。并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決寬幅變溫差式掃描量熱儀器的工程化和產(chǎn)業(yè)化問題，形成可商業(yè)化、通用型熱分析儀器的系列化發(fā)展，滿足特征溫度、反應(yīng)熱、熔融與結(jié)晶、結(jié)晶度、熱穩(wěn)定性、固化、玻璃化轉(zhuǎn)變、比熱、質(zhì)量變化、熱膨脹系數(shù)、反應(yīng)動力學(xué)等參數(shù)測量要求，為精密測量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：溫度范圍100 K～973 K;溫度重復(fù)性±0.1 K;溫度準(zhǔn)確度0.1 K;升/降溫速率0.01 K/min～50 K/min。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到1000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.2.2 高精度數(shù)字散斑干涉檢測儀
研究內(nèi)容：研究超光滑、超精密、超高溫零部件形貌和誤差以及相關(guān)材料的力學(xué)性能測量、測試方法及儀器設(shè)備，攻克三維特征高精度動態(tài)重構(gòu)、全息干涉條紋的高精度數(shù)值衍射算法和基于散斑技術(shù)的超高溫下材料性能測試等關(guān)鍵技術(shù)，研制相干與非相干照明光源、定向加熱激光、動態(tài)加載、數(shù)據(jù)采集處理等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)軟件豐富儀器功能，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高精度數(shù)字散斑干涉檢測儀，并在此技術(shù)上開展產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，實(shí)現(xiàn)常溫和超高溫對被測物體的位移、變形、振動及材料力學(xué)特性等參量的高精度動態(tài)無損檢測。研究數(shù)字散斑干涉及散斑結(jié)構(gòu)視覺三維測量系統(tǒng)的集成;不同溫度下光測手段和材料高溫本構(gòu)關(guān)系;數(shù)字散斑傳感器的精密標(biāo)定;為不同條件下材料力學(xué)性能精密測量和精密制造行業(yè)提供技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：測量靈敏度小于50 nm;測量面積大于200 mm×200 mm;測量速度大于20 Hz;實(shí)現(xiàn)常溫和超高溫材料力學(xué)特性的測量;支持多相機(jī)同步測量，三維數(shù)據(jù)自動拼接。項(xiàng)目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，技術(shù)就緒度達(dá)到8級，發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)預(yù)計(jì)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.2.3 超光滑表面無損檢測儀
研究內(nèi)容：研究多幅重疊干涉條紋的相位分離算法，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的超光滑表面無損檢測儀。并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力。開展新型連續(xù)變波長激光器在相位移中的應(yīng)用研究，實(shí)現(xiàn)非透明物體超光滑表面及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級表面形貌高精密測量，滿足現(xiàn)代工業(yè)對大面積表面形貌和厚度變化測量的需要，為LED、光伏和半導(dǎo)體制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：口徑尺寸≥120 mm;測量精度達(dá)到RMS≤20 nm;測量重復(fù)精度RMS≤10 nm。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)產(chǎn)值達(dá)到2億元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.2.4 精密光學(xué)器件在線檢測儀
研究內(nèi)容：攻克尖端光學(xué)器件的精密間距測量、偏心檢測與光學(xué)像質(zhì)評價技術(shù)。探索鏡片間隙的非接觸式測量方法，實(shí)現(xiàn)在線的鏡片間距高精度測量與引導(dǎo)裝調(diào);研究快速高精度的光學(xué)器件自動偏心測量方法;開展波前測量與波前標(biāo)定方法研究，形成基于波前像差的光學(xué)像質(zhì)判定算法。根據(jù)大型光學(xué)鏡面、高數(shù)值孔徑顯微物鏡、樹脂壓印鏡片等至少三種應(yīng)用場景的需求，開發(fā)一體式的綜合測量儀器設(shè)備，并在國內(nèi)高端的光學(xué)加工車間、國家質(zhì)檢系統(tǒng)、規(guī)?；墓鈱W(xué)元器件生產(chǎn)線，開展應(yīng)用示范，為精密光學(xué)加工、器件性能檢測和尖端物鏡裝調(diào)，提供儀器支撐。
考核指標(biāo)：口徑尺寸100mm;間距測量精度優(yōu)于800nm;偏心測量精度優(yōu)于100nm;波前測量精度RMS≤15nm，測量重復(fù)精度RMS≤7nm;發(fā)明專利10項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)，年產(chǎn)值達(dá)到3000萬元，年銷量達(dá)到100臺。
實(shí)施年限：不超過5年
2.3 電子測量儀器
2.3.1 高性能多功能矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀
研究內(nèi)容：攻克多端口微波網(wǎng)絡(luò)幅頻和相頻特性測量、半導(dǎo)體功率器件非線性特性測量、多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、測量校準(zhǔn)與量值溯源等關(guān)鍵技術(shù);研制多通道大動態(tài)范圍低溫漂混頻、高隔離度定向耦合、超寬帶低相位噪聲激勵信號發(fā)生、寬頻帶開關(guān)倍頻濾波、寬帶同軸機(jī)械和電子校準(zhǔn)件等關(guān)鍵部件和模塊;開發(fā)多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、非線性網(wǎng)絡(luò)模型、時域和頻域分析等測試軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、不同頻段不同端口數(shù)量組合的系列化微波矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀。并在此技術(shù)上開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力，實(shí)現(xiàn)對微波毫米波網(wǎng)絡(luò)的S參數(shù)、X參數(shù)、噪聲系數(shù)、混頻器件變頻損耗、信號頻譜等參數(shù)進(jìn)行高精度測量，為相控陣?yán)走_(dá)、移動通信、衛(wèi)星通信、衛(wèi)星導(dǎo)航、電子偵察與電子對抗等電子設(shè)備科研生產(chǎn)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：頻率范圍100 kHz～67 GHz;測試端口數(shù)量2和4;系統(tǒng)動態(tài)范圍80～128 dB;具備機(jī)械和電子校準(zhǔn)件、頻譜分析、噪聲系數(shù)測試、混頻器測量等附件或功能。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.3.2 無線通信信道模擬與監(jiān)測分析儀
研究內(nèi)容：攻克空中接口性能測試與比較、大多普勒頻偏及頻偏變化率模擬、長傳輸時延模擬、終端運(yùn)動時延變化模擬、多天線通信終端多維度無線信道模擬、無線通信信道自動監(jiān)測等關(guān)鍵技術(shù)，研制移動通信復(fù)雜傳輸環(huán)境模擬、衛(wèi)星測控與通信信道模擬、電子對抗環(huán)境模擬等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)路徑衰減、吸收損耗、遮擋衰落、多徑衰落、多普勒頻移、傳輸時延、群時延、多通道天線陣列相位等多種無線信道傳輸特性模擬軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的無線傳輸信道模擬與監(jiān)測分析儀。并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力，實(shí)現(xiàn)無線傳輸信道傳輸特性定量模擬和多種環(huán)境條件無線信道傳輸特性遍歷模擬，為移動通信、衛(wèi)星通信、衛(wèi)星導(dǎo)航、電子對抗等電子系統(tǒng)科研生產(chǎn)和工程建設(shè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：工作頻段1 MHz～18 GHz;通道數(shù)8;測試帶寬125 MHz;每個信道衰落路徑48個。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.3.3 時域電磁干擾測量監(jiān)測分析儀
研究內(nèi)容：攻克大動態(tài)寬帶信號高速采樣、多通道并行采樣數(shù)據(jù)動態(tài)重構(gòu)、寬帶信號并行數(shù)字檢波等關(guān)鍵技術(shù)，研制高速、寬帶時域電磁干擾測量監(jiān)測儀，開發(fā)實(shí)時接收、分析等軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的時域電磁干擾測量監(jiān)測分析儀。并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題，形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力，為大型水面艦艇中復(fù)雜電磁環(huán)境效應(yīng)快速測量評估提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：頻率范圍25 Hz～3.6 GHz、25 Hz～7 GHz、25 Hz～26.5 GHz;分辨率帶寬符合CISPR16—1—1和GJB 151B的分辨率帶寬;實(shí)時分析帶寬≥40MHz;30 MHz～1 GHz頻段的測試速度較傳統(tǒng)電磁干擾測量接收機(jī)提升千倍以上;環(huán)境適應(yīng)性、電磁兼容性和安全性均滿足GJB 3947A—2009中對三級設(shè)備的相關(guān)要求。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
2.4 計(jì)量儀器
研究內(nèi)容：研究寬帶大電流測量儀，攻克寬頻帶超大電流傳感和校準(zhǔn)技術(shù)，研究寬頻帶大電流溯源方法，研發(fā)高精度寬頻帶大電流計(jì)量儀器及校準(zhǔn)裝置，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的寬帶大電流計(jì)量儀。在此基礎(chǔ)上，開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，滿足我國高鐵、冶金、電力和國防軍工等行業(yè)對寬頻帶大電流高精度測量應(yīng)用和溯源需求，為精密測量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：交流和直流大電流測量范圍100 kA～300 kA，不確定度0.2%～0.5%，k=2，帶寬≥10 kHz。寬頻帶電流頻率測量范圍50 Hz～2.5 kHz～1 MHz，電流測量范圍10 A～2 kA，不確定度：1E—5～1E—2，k=2。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
有關(guān)說明：非企業(yè)牽頭申報，參與企業(yè)自籌資金與國撥總經(jīng)費(fèi)投入比例不低于1：1。
3. 專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范
重點(diǎn)支持支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展、服務(wù)公益行業(yè)和民生改善、保障國家安全和公共安全的3類專業(yè)重大科學(xué)儀器。
共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試，技術(shù)就緒度不低于8級。
原則上，每個項(xiàng)目下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過8個，承擔(dān)單位數(shù)不超過10個。
3.1 支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的專業(yè)重大科學(xué)儀器
3.1.1 工業(yè)過程在線分析檢測儀器
研究內(nèi)容：研發(fā)石油、化工、制藥、能源、冶金、礦產(chǎn)、有色等重要流程工業(yè)的生產(chǎn)過程產(chǎn)物及排放物的在線監(jiān)測技術(shù)，燃料、原料、材料等物質(zhì)的物理與化學(xué)轉(zhuǎn)化過程的樣品在線快速采樣、高壓快速反應(yīng)測試、在線無損檢測、產(chǎn)物高速分離分析及多組分高頻檢測技術(shù)，并研制形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能先進(jìn)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的流程工業(yè)生產(chǎn)及物質(zhì)轉(zhuǎn)化過程的在線分析檢測及監(jiān)測儀器;開發(fā)儀器應(yīng)用方法，實(shí)施儀器產(chǎn)品與系統(tǒng)的工程化，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
考核指標(biāo)：達(dá)到相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)，通過可靠性測試，技術(shù)就緒度8級以上，其中工業(yè)過程產(chǎn)物在線監(jiān)測分析下限1 ppm、系統(tǒng)響應(yīng)時間<0.1 s;物質(zhì)轉(zhuǎn)化在線顆粒采樣<0.5 g、高壓反應(yīng)測試適用50 atm壓力、產(chǎn)物在線高速分離分析適用20 ppb～1000 ppm濃度、多組分高頻檢測數(shù)據(jù)輸出頻率>100 Hz并適用10個組分。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到50套。
實(shí)施年限：不超過5年
3.1.2 油氣探測與管道檢測儀器和設(shè)備
研究內(nèi)容：攻克陣列側(cè)向測量、巖性密度測量、油氣管道測量、陣列感應(yīng)測量、在保護(hù)套中的懸掛、井下大功率高可靠電源、井下儀器測量信息與地面儀器信息的匹配技術(shù)，并集成補(bǔ)償中子測量、聲波測量、井徑測量、連斜測量、三參數(shù)測量等測井技術(shù)，進(jìn)行軟件開發(fā)，豐富儀器功能，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的油氣探測儀器，并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為石油、天然氣、頁巖氣等勘探領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：工作環(huán)境溫度—25～175 ℃，工作壓力≤140 Mpa;儀器供電連續(xù)工作時間不小于30小時;數(shù)據(jù)采集與存儲，存儲間隔每幀250 MS;適應(yīng)4～12英寸井眼，可任選鉆桿輸送泵出存儲和電纜輸送方式，同時具備裸眼井測井、套管井固井質(zhì)量測井功能。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2 服務(wù)公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器
3.2.1 燃煤電廠超低排放監(jiān)測儀器
研究內(nèi)容：針對燃煤電廠超低排放監(jiān)測需求，研制基于光譜技術(shù)的氣態(tài)污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)低濃度SO2、NOx等氣態(tài)污染物精確測量;攻克SO3的采樣和前處理關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)SO3以及硫酸霧在線監(jiān)測系統(tǒng);研制基于光散射與β射線技術(shù)融合的顆粒物監(jiān)測系統(tǒng)以及低濃度顆粒物手工采樣設(shè)備，實(shí)現(xiàn)低濃度顆粒物的快速、準(zhǔn)確測量以及手工比對。
考核指標(biāo)：SO2量程范圍0～75 mg/m3，NOx量程范圍0～100 mg/m3，線性誤差≤±2% F.S.，24小時零漂≤±2% F.S.;SO3量程范圍0～100 ppm;最低檢出限0.5 ppm;顆粒物檢測限≤0.1 mg/m3，響應(yīng)時間≤15 s，測量準(zhǔn)確性≤±10%，顆粒物手工采樣器測量范圍0～10 mg/m3;形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)100臺套以上的生產(chǎn)能力。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售達(dá)到400套。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.2 水中半揮發(fā)性有機(jī)物自動監(jiān)測儀器
研究內(nèi)容：針對地表水/飲用水中半揮發(fā)性有機(jī)物，采用固相微萃取、自動富集與熱解析技術(shù)，研制開發(fā)固相微萃取攪拌材料、自動萃取與熱解析裝置、GC—檢測器分離單元，定性、定量自動檢測水中半揮發(fā)性有機(jī)物和農(nóng)藥殘留;通過系統(tǒng)集成，開發(fā)水中半揮發(fā)性有機(jī)物自動監(jiān)測儀器;通過在水質(zhì)自動監(jiān)測系統(tǒng)及實(shí)驗(yàn)室檢測示范應(yīng)用，建立水中半揮發(fā)性有機(jī)物自動監(jiān)測技術(shù)方法體系。
考核指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838—2002)中至少24種半揮發(fā)性有機(jī)物監(jiān)測因子的連續(xù)自動監(jiān)測;準(zhǔn)確度≤10%，線性≥0.99，檢出限≤0.5 μg/L，重復(fù)性≤1%;形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)100臺套以上的生產(chǎn)能力。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.3 大氣顆粒物源識別在線分析儀
研究內(nèi)容：研究大氣顆粒物特征提取和源識別在線測量方法，攻克高靈敏度和高對比度的弱散射信號檢測提取、多維信息實(shí)時同步處理、散射顆粒特異性分析、多維信息組合分類等關(guān)鍵技術(shù)。研制多角度高吸收氣密散射室、多參量同步偏振數(shù)據(jù)檢測器、高精度流量測量及控制單元、溫濕度動態(tài)補(bǔ)償采樣單元、微弱電信號提取及放大等關(guān)鍵部件和模塊;開發(fā)大氣顆粒物散射仿真模型和演化、反演顆粒物特定屬性和群分布特性等算法，以及顆粒物光學(xué)識別經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)庫的顆粒物分類辨識軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的大氣顆粒物源辨識在線分析儀。開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，應(yīng)用于大氣污染防治、高污染產(chǎn)業(yè)升級和改造等所需的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)采集，為獲得霧霾與特定污染源的關(guān)聯(lián)關(guān)系提供技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：快速識別至少三類典型顆粒物;顆粒物組成分析的百分比誤差，快速在線方式下小于50%，長時間校準(zhǔn)方式下小于20%;顆粒物質(zhì)量濃度范圍1～1500 μg/m3;顆粒物測量分析的時間分辨率小于180秒;發(fā)明專利5項(xiàng)，軟件著作權(quán)2項(xiàng)，項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元，年銷售量不少于100臺。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.4 高通量微生物快速檢測儀器
研究內(nèi)容：攻克紫外激光誘發(fā)生物固有特征物質(zhì)熒光、空氣動力學(xué)粒譜測量、高頻高Q懸臂梁傳感等關(guān)鍵技術(shù)，研制虛擬撞擊切割器、生物氣溶膠監(jiān)測與甄別處理電路、懸臂梁陣列諧振器等關(guān)鍵部件和模塊，進(jìn)行軟件開發(fā)，豐富儀器功能，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的生物氣溶膠采樣器、生物氣溶膠監(jiān)測儀、生物氣溶膠報警器、生物檢驗(yàn)分析儀、高精度懸臂梁生物檢驗(yàn)儀。軟件研究基于光譜特征信息提取數(shù)學(xué)模型及譜特征匹配等算法，實(shí)現(xiàn)對生物氣溶膠活性、生物病原體種類等現(xiàn)場在線自動監(jiān)測檢測。研究數(shù)據(jù)甄別處理和自動系統(tǒng)集成，開發(fā)精密標(biāo)定技術(shù)。開展工程和產(chǎn)業(yè)化研究，為生物安全防控和其他國家安全領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：生物氣溶膠監(jiān)測報警時間≤30 s，生物氣溶膠采樣流量不小于1000 L/min，檢測時間≤30 min，檢測種類涵蓋細(xì)菌、病毒和毒素等生物病原體，細(xì)菌檢測靈敏度105 cfu/mL，毒素檢測靈敏度300 ng/mL。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到5000萬元，年銷售80—100臺。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.5 高性能智能化食品藥品無菌檢測儀
研究內(nèi)容：攻克基于VHP快速滅菌消毒及評價待檢樣品自動處理、細(xì)菌自動富集、功效檢測等關(guān)鍵技術(shù)，研制潔凈操作艙、傳遞系統(tǒng)、自動加樣系統(tǒng)、陽性菌加注、傳感反饋控制系統(tǒng)等關(guān)鍵部件和模塊，進(jìn)行控制軟件開發(fā)，豐富儀器功能，形成具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高性能智能化食品藥品無菌檢測儀。開發(fā)智能化管理軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無菌檢查自動監(jiān)測檢測。開展工程和產(chǎn)業(yè)化研究，為食品藥品行業(yè)質(zhì)量控制提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：VHP滅菌濃度持續(xù)穩(wěn)定在1000 ppm以上，滅菌保障水平達(dá)到10—6 SAL;整體效率達(dá)到手工的5倍以上。同時實(shí)現(xiàn)檢測系統(tǒng)自動監(jiān)控與遠(yuǎn)程監(jiān)管功能，具有全自動調(diào)壓氣壓控制，全自動精確傳遞定位機(jī)構(gòu)，全自動操作系統(tǒng)，網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程受控接口等，可自定測試程序。年產(chǎn)能達(dá)到300臺以上。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年生產(chǎn)能力達(dá)到300套，銷售額達(dá)到5000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.6 新型全譜線快速光譜儀
研究內(nèi)容：研究全譜線快速采集技術(shù)、激發(fā)光源校正技術(shù)、高穩(wěn)定蒸汽發(fā)生技術(shù)，研制全譜、高靈敏度、高傳輸效率的單色器系統(tǒng)，開發(fā)新型全譜線快速光譜儀器和檢驗(yàn)方法，解決食品、農(nóng)產(chǎn)品中微痕量元素分析廣普、精準(zhǔn)的難題。形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的儀器產(chǎn)品，并開展工程和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為食品和農(nóng)產(chǎn)品領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：波長范圍190～320 nm，波長誤差0.5 nm，分辨率2 nm，長期穩(wěn)定性優(yōu)于5.0%，光譜干擾、散射干擾<0.1%。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.7 井下甚寬頻帶地震儀
研究內(nèi)容：攻克井下定位等關(guān)鍵技術(shù)，研制易于操作的下井裝置、與井壁進(jìn)行良好耦合等關(guān)鍵部件和模塊，研制數(shù)據(jù)輸出可與現(xiàn)有臺站的甚寬頻帶地震計(jì)兼容的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的井下甚寬頻帶地震儀，實(shí)現(xiàn)對慢地震、固體潮汐、地震前兆和地殼運(yùn)動等方面的觀測能力。進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為地震研究和地球科學(xué)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：井下地震儀包括地震傳感器、井下密封裝置和下井裝置等部分，可用于井下地震觀測，具有遙控鎖松擺、遙控調(diào)零、遙控姿態(tài)調(diào)整、標(biāo)定等功能，具有真實(shí)記錄長周期地震波、中長周期地震波和短周期地震波的能力。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.8 空地全息三維自主技術(shù)裝備
研究內(nèi)容：研究新型低、中高空遙感技術(shù)裝備，攻克高分辨率激光成像總體技術(shù)、高精度激光指向控制技術(shù)和高靈敏度陣列探測技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，進(jìn)一步豐富多種平臺和環(huán)境下，對空地多種目標(biāo)進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取的手段，基于多模式、多光譜、多時相、多平臺的裝備優(yōu)勢，研制多種裝備一體化處理的智能后處理軟件，全自動處理生產(chǎn)三維模型數(shù)據(jù)，形成國產(chǎn)高端空地全息三維自主裝備體系，為航空航天、測繪等領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：系統(tǒng)兼有陸地、航空、低空等作業(yè)模式，具有集成化和輕量化設(shè)計(jì)，能保證穩(wěn)定性與安全性;全息智能處理軟件支持多種平臺、多種數(shù)據(jù)格式，支持部件自動提取自動分類，準(zhǔn)確率達(dá)到80%以上。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.2.9 大視場機(jī)載高光譜成像儀
研究內(nèi)容：應(yīng)用于遙感探測、地質(zhì)找礦、環(huán)境保護(hù)、農(nóng)業(yè)評估、海洋觀測等領(lǐng)域需求，研究大視場，寬譜段，高信噪比的機(jī)載成像高光譜儀。主要突破大視場，小F鏡頭，光分離技術(shù)，寬譜段譜儀及拼接技術(shù)，高信噪比的電子學(xué)技術(shù)以及大容量存儲技術(shù)。
考核指標(biāo)：視場大于60度，瞬時視場優(yōu)于2豪弧度，F(xiàn)：1.5，光譜范圍400 nm～2500 nm，波段大于128，光譜分比率由于15 nm，信噪比優(yōu)于500：1。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年生產(chǎn)、銷售2臺。
實(shí)施年限：不超過5年
3.3 保障國家安全和公共安全的專業(yè)重大科學(xué)儀器
3.3.1 基礎(chǔ)設(shè)施安全在線檢測監(jiān)測儀器
研究內(nèi)容：攻克材料劣化、缺陷演化過程中的無損檢測監(jiān)測關(guān)鍵技術(shù)，研制智能化在線實(shí)時監(jiān)測儀器的相關(guān)核心關(guān)鍵模塊，開發(fā)配套軟件，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模遠(yuǎn)程傳感器監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)采集、缺陷智能化輔助識別、風(fēng)險評估預(yù)警等功能。形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的民生或工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施安全在線檢測監(jiān)測儀器，進(jìn)行工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為重要民生或工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施安全領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：目標(biāo)儀器缺陷探測能力和功能達(dá)到相關(guān)領(lǐng)域檢測標(biāo)準(zhǔn)與安全評價規(guī)范要求。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元。
實(shí)施年限：不超過5年
3.3.2 快速通關(guān)檢測專用儀器
研究內(nèi)容：攻克激光誘導(dǎo)擊穿、光頻梳激發(fā)分辨、指紋識別、微陣列分析等關(guān)鍵技術(shù)，研制高性能信號激發(fā)、光譜分辨、光密度掃描等關(guān)鍵部件和模塊，進(jìn)行軟件開發(fā)，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的工礦產(chǎn)品及固體廢物全元素分析儀、貴重貨物無損鑒別儀、有毒有害物高分辨散射譜儀、真菌毒素偏振熒光免疫檢測儀，病原生物紙基多靶快檢儀，生物恐怖因子氣溶膠監(jiān)測儀，實(shí)現(xiàn)對跨境的大宗和貴重貨物無損鑒別、高風(fēng)險有毒有害物快速檢測、病原及恐怖因子監(jiān)測和及早預(yù)警。開展工程和產(chǎn)業(yè)化研究，為口岸安全和快速通關(guān)等領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：研發(fā)口岸安全快速檢測儀器不少于6種。對工礦產(chǎn)品，檢出限：Pb為0.01%，S為0.05%，Ca為0.1%，Cu為0.01%，Zn為0.01%，H為0.05%，F(xiàn)為0.1%，Cl為0.1%，C為0.01%，2分鐘內(nèi)，所有元素同步給出。同時，完成金屬元素和非金屬元素的定量分析;對貴重品鑒別，建立不少于100種特征譜庫;對有毒有害物，單點(diǎn)測量時間小于10ms，檢出限滿足SN標(biāo)準(zhǔn)要求;對真菌毒素和病原生物，技術(shù)指標(biāo)滿足國家相關(guān)要求;對恐怖因子，覆蓋國際組織公布的氣溶膠傳播全部生物恐怖因子。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到5000萬元，年銷售80—100臺。
實(shí)施年限：不超過5年
3.3.3 物流安全快檢儀器
研究內(nèi)容：攻克多通道熒光探針設(shè)計(jì)與檢測、同軸嵌套多模離子化等關(guān)鍵技術(shù)，研制核心生物傳感器件模塊，進(jìn)行軟件開發(fā)，強(qiáng)化系統(tǒng)集成、研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的成套生物傳感檢測技術(shù)裝備、液—?dú)舛嗄ｋx子源檢測儀，精準(zhǔn)控溫多道熒光定量核酸檢測儀，診療設(shè)備評價系統(tǒng)，建立物流安全監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)貿(mào)易全流程、即時風(fēng)險預(yù)警。開展工程和產(chǎn)業(yè)化研究，為物流和公共安全等領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：研制物流安全的危害因子專用檢測儀器不少于4種，檢測范圍覆蓋違禁危害因子85%以上，檢出率95%以上;服務(wù)系統(tǒng)可達(dá)百萬級用戶。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元，年銷售80—100臺。
實(shí)施年限：不超過5年
3.3.4 放射性核素在線監(jiān)測儀器
研究內(nèi)容：攻克專有低本底、高效率、多晶體譜儀部件直接探測水體放射性水平的測量技術(shù)以及數(shù)據(jù)通訊和集成分析軟件核心技術(shù)，攻克自動采集、制樣、實(shí)時在線監(jiān)測水體的測量技術(shù)以及數(shù)據(jù)通訊和集成分析軟件核心技術(shù);實(shí)現(xiàn)水中放射性實(shí)時在線快速監(jiān)測、網(wǎng)絡(luò)化輻射監(jiān)測，分別形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的放射性核素在線監(jiān)測系統(tǒng)，進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為環(huán)保行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
考核指標(biāo)：γ核素探測下限137Cs，探測下限0.5Bq/L;90Sr探測下限10mBq/L;3H探測下限1.2Bq/L;14C探測下限2Bq/L;總α探測下限0.05Bq/L;總β探測下限0.1Bq/L;適用溫度—20℃～+50℃;適用濕度<95%;防護(hù)等級IP54。發(fā)明專利3項(xiàng)，軟件著作權(quán)3項(xiàng)，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值達(dá)到2000萬元，三年銷售50臺套。
實(shí)施年限：不超過5年
3.3.5 航空航天裝備安全儀器
研究內(nèi)容：研究復(fù)雜工況下姿態(tài)運(yùn)動的高精度視頻測量及其抗擾方法、海量時序視頻圖像特征的實(shí)時處理技術(shù)、載荷隨姿態(tài)運(yùn)動的變化規(guī)律分析方法、測試數(shù)據(jù)的微弱特征提取方法;攻克高噪聲/振動環(huán)境下姿態(tài)運(yùn)動的高精度實(shí)時測量，載荷/姿態(tài)測試數(shù)據(jù)的時/頻/空耦合分析，及其嵌入式軟硬件儀器化等關(guān)鍵技術(shù)，形成自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的復(fù)雜工況下姿態(tài)運(yùn)動的高精度視頻檢測分析儀，在噪聲/振動環(huán)境下實(shí)現(xiàn)姿態(tài)運(yùn)動的高精度測量、提供載荷/姿態(tài)運(yùn)動間的耦合特性參數(shù)。
考核指標(biāo)：成像分辨率最高3600萬像素，時間分辨率1微秒～1秒，采樣頻率1～10000 Hz;角度測量范圍0～360°;姿態(tài)角測量精度最高0.01°;工作環(huán)境噪聲0～130 dB;單路時序視頻圖像特征的實(shí)時處理速度最高2 GB/秒;檢測分析信號的信噪比可達(dá)—20 dB。技術(shù)就緒度達(dá)8級，發(fā)明專利5項(xiàng)，軟件著作版權(quán)3項(xiàng)，企業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收后三年內(nèi)產(chǎn)值達(dá)到1.2億。
實(shí)施年限：不超過5年
