▍半導(dǎo)體和新材料的評估

　　[溫濕度同時測量]

　　由于絕緣電阻對溫濕度的變化的反應(yīng)很敏感，因此需要同時管理溫濕度。具備溫度±5℃，濕度±5%RH的高精度的溫濕度測量，可以用于新材料的測量管理(使用選件Z2011溫濕度傳感器時：溫度-40℃～80℃，濕度20%～80%)

　　[順序控制]　[D/A輸出]

　　序列模式下可以設(shè)置[放電]-[充電]-[測量]-[放電]的時間(最大999.9s)后，不必使用計算機就能進行反復(fù)測量。測量中的電流變化也能通過D/A輸出至記錄儀中進行保存。另外，在進行精密的評估時，可通過USB等外部控制用于半導(dǎo)體的耐壓試驗和新材料的電壓依存性確認。

　　▍消除不規(guī)則輸入的自動平均值功能

　　[自動平均值]

　　SM系列的自動平均值是檢測電流的變化，并自動將其進行平均化的功能， 在

　　查看測量結(jié)果的同時不需要改變設(shè)置。

　　通過自動排除充電電流的過渡響應(yīng)時或接觸不穩(wěn)定導(dǎo)致偏差較大等預(yù)測外的測量變

　　化，可以獲得穩(wěn)定的測量結(jié)果。(也可以是固定測量條件的指定次數(shù)的平均值)

　　[5檔測量速度]

　　根據(jù)環(huán)境有FAST、FAST2、MID、SLOW、SLOW2這5種速度可以切換，可

　　以配合環(huán)境將內(nèi)部整合時間設(shè)為1/2PLC的FAST2等來設(shè)置。

　　▍豐富的電極變化和設(shè)置的統(tǒng)一保存

　　[電極預(yù)設(shè)]

　　電極和屏蔽箱根據(jù)材料備有多個。通過輸入所使用的電極名稱自動設(shè)置電極常數(shù)就能簡單正確的開始電阻率測量。

　　[面板保存、讀取]

　　由于電極名稱或順序控制的60秒設(shè)置等各種設(shè)置可以作為面板數(shù)據(jù)統(tǒng)一保存，因此僅讀取面板數(shù)據(jù)就能快速的進行材料的切換。

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