嚴(yán)格地講，對(duì)于一臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器，需要檢測(cè)和標(biāo)定有4個(gè)最主要參數(shù)：
1、計(jì)數(shù)效率；
2、計(jì)數(shù)準(zhǔn)確度（靈敏度）；
3、流量準(zhǔn)確度；
4、零計(jì)數(shù)；
這4個(gè)參數(shù)互相制約, 使得設(shè)計(jì)一個(gè)高質(zhì)量的傳感器具有極強(qiáng)的挑戰(zhàn)性. 也是國(guó)內(nèi)其它粒子計(jì)數(shù)器制造商與國(guó)外先進(jìn)水平的差距所在. 其它參數(shù)如重疊損失、測(cè)量重復(fù)性等屬于制造商設(shè)計(jì)常規(guī)自檢范疇。
一、計(jì)數(shù)效率
根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）：0.3μm 要求50％±20％的計(jì)數(shù)效率；而在0.3 μm 處檢測(cè)0.45μm（0.3 的1.5 倍，通常檢測(cè)選擇用0.5μm 代替）的計(jì)數(shù)效率， 要求達(dá)到100％±10％。 一般情況下是由比較法來(lái)完成，溯源性是由電鏡計(jì)數(shù)而產(chǎn)生一級(jí)母機(jī)來(lái)保證。用對(duì)比法產(chǎn)生二級(jí)母機(jī)。二級(jí)母機(jī)可以作為參照標(biāo)準(zhǔn)，但不能再比對(duì)生產(chǎn)新的母機(jī)。
二、計(jì)數(shù)準(zhǔn)確度（靈敏度）
一臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器能否具有所稱(chēng)檢測(cè)粒子的靈敏度是由高精度的門(mén)限電路及其相關(guān)電路的分辨率和準(zhǔn)確性來(lái)保證，最可靠的方法就是采用高精度的多通道信號(hào)分析儀來(lái)檢測(cè)。電壓標(biāo)準(zhǔn)均需可溯源。
三、流量準(zhǔn)確度
需要高精度可溯源的流量計(jì)來(lái)檢測(cè)標(biāo)定。
