隨著半導(dǎo)體器件、量子器件和材料科學(xué)等領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展，器件的尺寸變得越來(lái)越小、結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，與之相應(yīng)的微納尺度下的加工精度要求越來(lái)越高。聚焦離子束（FIB）系統(tǒng)已成為相關(guān)領(lǐng)域的研究中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。截止到目前，可商購(gòu)的FIB系統(tǒng)大都使用液態(tài)金屬或惰性氣體作為離子源，但是采用上述離子源的FIB系統(tǒng)在加工精度，加工速度，維護(hù)難度和使用費(fèi)用等方面很難達(dá)到令人滿(mǎn)意的平衡，因此兩者并非FIB系統(tǒng)的理想離子源選擇。
為了解決商用FIB系統(tǒng)中存在的上述問(wèn)題，2020年，美國(guó)zeroK NanoTech公司運(yùn)用曾獲諾貝爾獎(jiǎng)的激光冷卻技術(shù)，推出了新一代高精度低溫銫離子源FIB系統(tǒng)——FIB: ZERO。該系統(tǒng)采用低溫銫離子源（Cs+ LoTIS），在很大程度上減少了離子的隨機(jī)運(yùn)動(dòng)，使FIB：ZERO中的離子束斑與傳統(tǒng)離子源產(chǎn)生的束斑相比具有更高的亮度，更小的尺寸，和更低的能量散失。因此，可以獲得更清晰的成像、更高的加工精度和更少的樣品損傷。同時(shí)，也顯著降低了維護(hù)難度和使用成本。近日，Quantum Design中國(guó)正式引進(jìn)新一代高精度低溫銫離子源FIB系統(tǒng)，希望能夠幫助我國(guó)科學(xué)家在半導(dǎo)體器件、量子器件和材料科學(xué)等領(lǐng)域有更深入的研究。
新品亮點(diǎn)
1.更清晰的成像效果，更大的成像景深
2. 更明顯的對(duì)比度
3. 更高的加工精度（相同時(shí)間）
4. 更好的加工均勻性（相同時(shí)間）
5. 對(duì)樣品小的損傷范圍
Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM）模擬不同離子源產(chǎn)生的離子束在硅中的影響范圍
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