紫外臭氧清洗機 

　　產(chǎn)品概述

　　紫外臭氧清洗機是一種干法清洗設(shè)備，可用于清洗多種單晶基片，以成好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。

　　紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）；所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

　　參數(shù)指標(biāo)

　　材質(zhì)內(nèi)部采用不銹鋼材料

　　結(jié)構(gòu)抽屜式樣品臺，取、放基板簡單、方便

　　氣路預(yù)留進氣接口，豐富設(shè)備的清洗種類

　　保護抽屜開合與UV燈工作互鎖，避免紫外線傷害

　　計時按鍵定時器，放便直觀

　　操作清洗工作進程可以任意時間手動終止

　　可選配件可選臭氧中和器，避免臭氧傷害

　　電氣指標(biāo)

　　清洗波段：185nm和254nm

　　距離UV燈3-5mm，平均光強28~32mW/cm2

　　燈管雙波低壓汞燈X2

　　燈管功率：300W

　　燈管尺寸：300mm×300mm

　　照射區(qū)域：300mm×300mm（基臺尺寸305×340mm）

　　可調(diào)照射距離：5~60mm

　　定時器工作范圍0~99min99s  具有自動倒時功能

　　機械指標(biāo)

　　進、出氣口進氣口：φ8mm，出氣口：φ50mm

　　設(shè)備外型尺寸

　　長（430mm）×寬（ 380mm）×高（ 320mm）

　　（含臭氧中和器的尺寸為）長580mm×寬380mm×高420mm

　　重量：26KG