摘要：一種線沉積源，包括多個坩鍋，每個坩鍋容納沉積材料。熱屏蔽件提供用于所述多個坩鍋中的至少一個的至少局部熱隔離。本體包括多個傳導(dǎo)槽道。所述多個傳導(dǎo)槽道中的每一個的輸入與所述多個坩鍋中的相應(yīng)一個的輸出連接。加熱器升高該多個坩鍋的溫度，這樣，每個坩鍋將沉積材料蒸發(fā)至該多個傳導(dǎo)槽道中。多個噴嘴中的每一個的輸入與所述多個傳導(dǎo)槽道中的一個的輸出連接。蒸發(fā)的沉積材料從坩鍋通過傳導(dǎo)槽道被輸送給噴嘴，在噴嘴處，蒸發(fā)的沉積材料從該多個噴嘴排出，以形成沉積流。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美國紐約
- 申請?zhí)?/b>CN200910262492.0
- 申請時間2009年12月18日
- 申請公布號CN101845612B
- 申請公布時間2012年04月25日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;
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