摘要：本發(fā)明公開了一種用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)中入射角度自動(dòng)探測(cè)的裝置，包括用于產(chǎn)生具有偏振態(tài)的探測(cè)光波、并將其入射到樣品上的起偏臂，用于對(duì)經(jīng)樣品反射后光波進(jìn)行偏振態(tài)再調(diào)制和光能量檢測(cè)的檢偏臂，用于支撐起偏臂和檢偏臂的基板，其中，基板上設(shè)置有若干個(gè)位置探測(cè)開關(guān)，起偏臂和檢偏臂上均設(shè)置有用于觸發(fā)位置探測(cè)開關(guān)的觸發(fā)裝置，起偏臂和檢偏臂轉(zhuǎn)動(dòng)到不同的位置，安裝在其上的觸發(fā)裝置將改變位置探測(cè)開關(guān)的狀態(tài)，從而獲得該入射角度、反射角度的信號(hào)，以實(shí)現(xiàn)起偏臂和檢偏臂的位置探測(cè)、及入射角度的自動(dòng)探測(cè)。本發(fā)明提供的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)中角度自動(dòng)探測(cè)的裝置和方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn)，具有成本低、快速、高效、自動(dòng)化、高可靠性的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京量拓科技有限公司;
- 發(fā)明人孟永宏;楊濤;
- 地址100098 北京市海淀區(qū)大鐘寺東路9號(hào)京儀科技大廈C座309室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201010137774.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年03月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101846616B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年07月04日
- 分類號(hào)G01N21/21(2006.01)I;
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