摘要：本發(fā)明公開了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置及清洗方法，該裝置由可旋轉(zhuǎn)的卡盤主體及其邊緣設(shè)置的至少兩組夾持元件組成，夾持元件可以以其與卡盤主體的連接點(diǎn)為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行擺動(dòng)，其底端與卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧；清洗時(shí)同組夾持元件的動(dòng)作一致，兩組夾持元件交替打開和卡緊。通過采用同組夾持元件安裝對(duì)外同極性磁鐵，不同組夾持元件安裝磁極相反磁鐵；卡盤主體上均勻間隔設(shè)兩組電磁鐵。清洗初期兩組電磁鐵不通電，兩組夾持裝置處于壓縮彈簧彈力作用下的夾緊狀態(tài)，清洗時(shí)通過改變電磁鐵中電流方向來(lái)使夾持元件交替打開。本發(fā)明可以對(duì)夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進(jìn)行清洗，從而提高薄壁盤狀物的整體清洗質(zhì)量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人吳儀;王浩;李偉;王銳廷;張豹;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210042925.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年02月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102569150B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年12月10日
- 分類號(hào)H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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