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    水平濕法蝕刻線咬蝕量測試片的固定結(jié)構(gòu)

      摘要:本發(fā)明提供了一種水平濕法蝕刻線咬蝕量測試片的固定結(jié)構(gòu),其包括:介質(zhì)層板、布置在介質(zhì)層板內(nèi)的一個或多個窗口、布置在窗口外周的穿線孔、以及固定線;其中,所述固定線通過所述穿線孔從而形成相對于所述窗口傾斜的與所述窗口部分重合的多邊形雙線結(jié)構(gòu);而且,所述固定線所形成的多邊形雙線結(jié)構(gòu)的一層線布置在介質(zhì)層板的一側(cè),而所述固定線所形成的多邊形雙線結(jié)構(gòu)的另一層線布置在介質(zhì)層板的另一側(cè)。由此,提供一種能夠避免咬蝕量測試片在水平濕法線傳輸過程中從大間距傳輸滾輪掉落的問題的一種測試片固定結(jié)構(gòu)。
    • 專利類型發(fā)明專利
    • 申請人無錫江南計算技術(shù)研究所;
    • 發(fā)明人方慶玲;吳小龍;吳梅珠;徐杰棟;劉秋華;胡廣群;梁少文;
    • 地址214083 江蘇省無錫市濱湖區(qū)軍東新村030號
    • 申請?zhí)?/b>CN201210395633.8
    • 申請時間2012年10月17日
    • 申請公布號CN102878971A
    • 申請公布時間2013年01月16日
    • 分類號G01B21/18(2006.01)I;
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