摘要：本發(fā)明屬于PECVD設(shè)備表面電場增強技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種用于大型板式PECVD設(shè)備的表面電場增強裝置。包括工藝腔和設(shè)置于工藝腔內(nèi)的電極基板、碳板、傳輸滾輪及絕緣銷，其中電極基板通過絕緣銷固接于工藝腔的內(nèi)壁上，所述碳板設(shè)置于電極基板的下方、并與電極基板之間留有間隙，所述電極基板接入電壓。本發(fā)明可吸引N3-或Si4+離子，增大了輸送到生長表面的離子流量，能提高沉積速率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人李昌龍;趙崇凌;李士軍;張健;張冬;洪克超;徐寶利;鐘福強;陸濤;許新;王剛;劉興;張妍;王學(xué)敏;李松;屈秋霞;張締;朱龍來;徐浩宇;趙科新;閆用用;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號
- 申請?zhí)?/b>CN201210593436.7
- 申請時間2012年12月29日
- 申請公布號CN103046027A
- 申請公布時間2013年04月17日
- 分類號C23C16/511(2006.01)I;
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