摘要：本發(fā)明公開了測定四氟化硅氣體中雜質(zhì)碘含量的方法，包括以下步驟：第一步，配置100mL?NaOH或KOH吸收液；第二步，連接好冷凍裝置；第三步，用惰性氣體置換整個管路中的空氣，然后抽真空，反復(fù)5次；第四步，將經(jīng)濃硫酸吸收、含氟化氫的濃硫酸吸收、活性炭、硅藻土凈化后的SiF4氣體引入冷凍裝置，除去HI以及I2；第五步，將冷凍后的SiF4氣體引入吸收瓶吸收，控制增重量m；第六步，用紫外分光光度法分析氣體中的碘含量。本發(fā)明方法用于四氟化硅中雜質(zhì)碘的分析，可以準(zhǔn)確、迅速地測定碘雜質(zhì)的含量，有利于高純度四氟化硅的生產(chǎn)。適用于生產(chǎn)四氟化硅的企業(yè)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人貴州甕福藍天氟化工股份有限公司;貴州大學(xué);
- 發(fā)明人唐安江;劉松林;張妙鶴;湯正河;張瑞;韋德舉;龔孝祥;
- 地址550500 貴州省黔南布依族苗族自治州福泉市馬場坪辦事處迎賓路11號
- 申請?zhí)?/b>CN201210493730.0
- 申請時間2012年11月28日
- 申請公布號CN103091271B
- 申請公布時間2016年05月18日
- 分類號G01N21/33(2006.01)I;
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