摘要：一種透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機，所述透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機包括一機座、一裝設(shè)在所述機座上的卡爪以及一檢測所述晶圓上的缺口的傳感器，所述卡爪包括至少兩個卡爪接觸單元、至少兩個卡爪臂以及至少兩個與所述卡爪接觸單元和所述卡爪臂相連接的連接部，所述卡爪接觸單元夾持所述晶圓，所述卡爪臂支撐所述晶圓，所述連接部是透光材料制成，所述傳感器包括一光線發(fā)射端以及一光線接收端，所述光線發(fā)射端發(fā)射光線以檢測所述缺口位置，在所述連接部夾在所述光線發(fā)射端、所述光線接收端中間，所述缺口位于所述連接部上方時，所述傳感器檢測出所述缺口所在的位置。相對現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明能夠避免預(yù)對準(zhǔn)機卡爪遮擋晶圓缺口及傳感器光線帶來的重新夾持晶圓的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人張鵬;李學(xué)威;曲道奎;徐方;孫義田;溫燕修;何書龍;何偉全;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201210002296.1
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103192463A
- 申請公布時間2013年07月10日
- 分類號B28D7/04(2006.01)I;
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