摘要：本發(fā)明公開了一種高密度、大尺寸、高均勻性鉬鈦合金靶材的制備方法，1）向Mo粉與Ti粉內(nèi)加溶劑和粘結(jié)劑磨制成漿料；2）用噴霧機(jī)對漿料噴霧造粒，進(jìn)口溫度為250-300℃，噴頭轉(zhuǎn)速為8000-12000rpm，得到Mo-Ti復(fù)合粉，壓制成尺寸規(guī)整的坯料；3）將多個坯料裝入包套內(nèi)，向相鄰坯料間內(nèi)填充入50-250μm的Mo-Ti復(fù)合粉形成均勻的復(fù)合粉層，復(fù)合粉層厚度為0.5-1mm，保證任意一側(cè)包套內(nèi)壁與相鄰坯料外壁間的間隙小于或等于0.5mm；4）將包套焊接、脫氣后熱等靜壓處理，處理條件為750-900℃、120-160MPa，保溫保壓時間為4-6h，去除包套即可。該方法制作的靶材可用作濺射沉積技術(shù)的陰極材料。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人安泰科技股份有限公司;
- 發(fā)明人劉國輝;顏君毅;姚惠龍;郭穎利;熊寧;王鐵軍;劉文彬;陳福鴿;林同偉;劉慧淵;
- 地址100081 北京市海淀區(qū)學(xué)院南路76號
- 申請?zhí)?/b>CN201310744517.7
- 申請時間2013年12月30日
- 申請公布號CN103740979A
- 申請公布時間2014年04月23日
- 分類號C22C14/00(2006.01)I;C22C27/04(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;
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