摘要：本發(fā)明提供了一種垂直磁各向異性磁性隧道結(jié)單元測試系統(tǒng)，包括探針測量平臺，探針測量平臺的兩個探針前端分別加在MTJ單元的上下電極，兩個探針的后端分別連接電源測量模塊的高低電平輸出端口；帶鐵芯繞組線圈固定在MTJ單元的空間正上方，繞組線圈電源的正負極接帶鐵芯繞組線圈的兩端；計算機測試平臺控制繞組線圈電源向帶鐵芯繞組線圈提供不同的電壓，并控制電源測量模塊產(chǎn)生電壓激勵信號以獲取電流響應(yīng)信號，根據(jù)電壓激勵信號和電流響應(yīng)信號得到MTJ單元的電阻值；從而得到感應(yīng)磁場強度與MTJ單元的電阻值之間的關(guān)系曲線。本發(fā)明測試系統(tǒng)可方便地對MTJ單元進行測試，大大縮短測量時間，節(jié)約測試成本，提高測試過程的便利性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人程曉敏;繆向水;唐偉捷;洪瑋;關(guān)夏威;劉輝;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201410017877.1
- 申請時間2014年01月15日
- 申請公布號CN103777157B
- 申請公布時間2017年01月25日
- 分類號G01R33/12(2006.01)I;
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