摘要：一種導電薄膜，包括層疊的RZO層及CrO3層，其中RZO層為鋁摻雜的氧化鋅，鎵摻雜氧化鋅和銦摻雜氧化鋅中的一種。上述導電薄膜通過在RZO層的表面沉積高功函的CrO3層制備雙層導電薄膜，既能保持RZO層的良好的導電性能，又使導電薄膜的功函數得到了顯著的提高。本發(fā)明還提供一種導電薄膜的制備方法及應用。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發(fā)明人周明杰;陳吉星;王平;馮小明;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請?zhí)?/b>CN201310206446.5
- 申請時間2013年05月29日
- 申請公布號CN104210167A
- 申請公布時間2014年12月17日
- 分類號B32B9/04(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;
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