摘要：本發(fā)明提供了一種聲表面波器件在光刻過程中的前烘方法，屬于聲表面波器件技術領域，所述方法包括：將烘箱的溫度穩(wěn)定在160攝氏度，晶片將晶片放入所述烘箱中烘烤；烘烤10分鐘之后將所述烘箱的溫度降至155攝氏度，再烘烤10分鐘之后將所述烘箱的溫度降至150攝氏度，恒溫保持1小時；將所述烘箱的溫度降至120攝氏度，溫度恒定10分鐘后取出所述晶片。本發(fā)明通過將晶片的烘烤溫度控制在150攝氏度至160攝氏度，使光刻膠達到流變狀態(tài)，達到最大限度的保護線條作用，減緩側向腐蝕的速度，實現(xiàn)厚膜細線條的目的，從而降低干刻或剝離的工藝復雜度，同時也降低了工藝成本。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中訊四方科技股份有限公司;
- 發(fā)明人董啟明;張敬鈞;
- 地址100194 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)聶各莊路7號
- 申請?zhí)?/b>CN201410407221.0
- 申請時間2014年08月18日
- 申請公布號CN104317171A
- 申請公布時間2015年01月28日
- 分類號G03F7/38(2006.01)I;
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