摘要：本發(fā)明涉及玻璃、塑料和陶瓷基體上制備各類薄膜的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種在五腔體全自動(dòng)電子束沉積系統(tǒng)中使用的傳輸系統(tǒng)。包括自動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)、升降氣缸、樣品載板及樣品架，所述五腔體包括依次相連通的傳輸腔I、裝載腔I、工藝腔、裝載腔II及傳輸腔II，其中裝載腔I、工藝腔及裝載腔II內(nèi)均設(shè)有升降氣缸、樣品載板及樣品架，所述樣品架與電機(jī)連接、并通過(guò)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述樣品載板設(shè)置于樣品架上，所述升降氣缸對(duì)樣品載板進(jìn)行提拉或放下，所述自動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)攜帶樣品載板在腔體間運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明在產(chǎn)量高的同時(shí)，節(jié)約工藝腔在每次取換樣品載板后的抽氣時(shí)間，讓工藝過(guò)程與取放樣品載板同時(shí)進(jìn)行。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人趙科新;趙崇凌;李士軍;洪克超;徐寶利;張健;張冬;王磊;李松;林峰雪;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)新源街一號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310563039.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年11月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104630737A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月20日
- 分類號(hào)C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;
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