摘要：本發(fā)明提供一種能提高排氣量和極限真空度并能謀求裝置的小型化的隔膜真空泵。該隔膜真空泵通過如下方式形成，即，形成隔膜真空泵單元(11a)，并將隔膜真空泵單元沿上下方向疊放多層，利用齒形帶(2)將在上下方向上相鄰的隔膜真空泵單元的凸輪軸彼此連結(jié)起來，并將一個隔膜真空泵單元的凸輪軸(12a)連接于馬達(12)，隔膜真空泵單元包括：凸輪軸；曲軸機構(13)，通過凸輪軸的旋轉(zhuǎn)進行工作；連接構件(14)，利用曲軸機構而沿水平方向進行往復運動；隔膜(15、16)，其安裝于連接構件的兩端部；一對泵室(17、18)，其容積通過隔膜的動作而擴大或縮??；與泵室相連通的進氣通路和排氣通路；進氣側(cè)止回閥；排氣側(cè)止回閥。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東京理化器械株式會社;
- 發(fā)明人有賀真一;
- 地址日本東京都
- 申請?zhí)?/b>CN201410677561.5
- 申請時間2014年11月21日
- 申請公布號CN104976106A
- 申請公布時間2015年10月14日
- 分類號F04B43/02(2006.01)I;
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