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    減小激光束橫截面積的方法、激光顯微切割的方法和裝置

      摘要:本發(fā)明提供了一種減小激光束橫截面積的方法,在激光發(fā)射器與被照物體之間的光路中設(shè)置空間光調(diào)制器;所述激光發(fā)射器發(fā)出的入射激光束在空間光調(diào)制器上產(chǎn)生主光斑和副光斑;所述主光斑覆蓋到空間光調(diào)制器的N個相鄰的微單元上,只打開以主光斑圓心為中心n個微單元(n=1,2,…,N),其它N-n個微單元為關(guān)閉狀態(tài),則出射激光束的橫截面積d=D×(n/N),其中D為主光斑的橫截面積。本發(fā)明還提供了一種激光顯微切割的方法和裝置。上述的一種減小激光束橫截面積的方法,通過人為操作和控制,使激光束的橫截面積在一定范圍內(nèi)縮小。上述的一種激光顯微切割的方法和裝置,能夠?qū)崿F(xiàn)切割線寬度小到微米甚至亞微米的激光切割。
    • 專利類型發(fā)明專利
    • 申請人華僑大學(xué);麥克奧迪實業(yè)集團有限公司;寧波五維檢測科技有限公司;
    • 發(fā)明人易定容;
    • 地址362000 福建省泉州市豐澤區(qū)城東
    • 申請?zhí)?/b>CN201510783316.7
    • 申請時間2015年11月16日
    • 申請公布號CN105353514A
    • 申請公布時間2016年02月24日
    • 分類號G02B27/09(2006.01)I;C12M1/42(2006.01)I;
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