摘要：本發(fā)明涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結(jié)構(gòu)和具有該結(jié)構(gòu)的多級真空泵。一種用于多級真空泵的防沖擊結(jié)構(gòu)，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設(shè)有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路上設(shè)有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。所述多級真空泵的一級真空泵腔體和二級真空泵腔體上均設(shè)有所述防沖擊結(jié)構(gòu)。本發(fā)明將經(jīng)過壓縮的已經(jīng)達到許用排氣壓力的工作介質(zhì)直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產(chǎn)生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人王光玉;孔祥玲;張曉玉;雷震霖;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410629537.4
- 申請時間2014年11月10日
- 申請公布號CN105649986A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號F04C25/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I;
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