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無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱

　　摘要：本發(fā)明公開了一種無塵室循環(huán)過濾裝置，其包括：過濾單元，其設置于無塵室內(nèi)，該過濾單元與無塵室的頂部之間形成第一腔室；板體，其上開設有多個通孔，該板體設置于無塵室內(nèi)并位于過濾單元的下方，該板體與過濾單元之間形成第二腔室，該板體與無塵室的底部之間形成第三腔室；回風通道，其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。本發(fā)明同時還公開了一種無塵室和手套箱。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，在簡化結構和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達到ISO1級。

專利類型發(fā)明專利
申請人威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司;
發(fā)明人張德龍;
地址215026 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)杏林街78號新興產(chǎn)業(yè)工業(yè)坊2號廠房
申請?zhí)?/b>CN201610186870.1

申請時間2016年03月29日

申請公布號CN105666528A

申請公布時間2016年06月15日

分類號B25J21/02(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;

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無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱

無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱