摘要:本發(fā)明公開了一種無塵室循環(huán)過濾裝置,其包括:過濾單元,其設置于無塵室內(nèi),該過濾單元與無塵室的頂部之間形成第一腔室;板體,其上開設有多個通孔,該板體設置于無塵室內(nèi)并位于過濾單元的下方,該板體與過濾單元之間形成第二腔室,該板體與無塵室的底部之間形成第三腔室;回風通道,其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。本發(fā)明同時還公開了一種無塵室和手套箱。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比,在簡化結構和降低成本的前提下,同樣形成了高潔凈度的無塵環(huán)境,使得潔凈度同樣可以達到ISO1級。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人威格氣體純化科技(蘇州)股份有限公司;
- 發(fā)明人張德龍;
- 地址215026 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)杏林街78號新興產(chǎn)業(yè)工業(yè)坊2號廠房
- 申請?zhí)?/b>CN201610186870.1
- 申請時間2016年03月29日
- 申請公布號CN105666528A
- 申請公布時間2016年06月15日
- 分類號B25J21/02(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;




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