摘要：本發(fā)明提供一種PVDF超聲換能器電極的制作方法及PVDF超聲換能器，所述PVDF超聲換能器電極的制作方法，包括：獲取電極的圖案；將所述圖案覆蓋在PVDF導(dǎo)電薄膜上，所述PVDF導(dǎo)電薄膜的上下表面的電極為鋁電極，且其上表面涂有感光材料；對(duì)覆蓋了圖案的PVDF導(dǎo)電薄膜進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻及脫模處理，得到帶有所需電極圖案的PVDF壓電薄膜。相對(duì)于現(xiàn)有的復(fù)雜電極PVDF超聲換能器制作方法，基于上述方法制作的PVDF超聲換能器有更高的靈敏度，且有工藝簡(jiǎn)單、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人湖南大學(xué);
- 發(fā)明人王波;彭寬;肖嘉瑩;朱自強(qiáng);
- 地址410082 湖南省長(zhǎng)沙市麓山區(qū)岳麓山南路麓山門
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610207534.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年04月05日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105772380A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年07月20日
- 分類號(hào)B06B1/06(2006.01)I;B06B3/04(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;
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