摘要：本實(shí)用新型涉及一種綠激光顯微精密修調(diào)機(jī)，由機(jī)架、二維工作臺(tái)、精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)、探針、高倍顯微鏡、外光路護(hù)套、45度全反鏡、擴(kuò)束鏡、激光器部件組成，機(jī)架的上面安裝激光器，在激光器的出光孔處裝有擴(kuò)束鏡，45度全反鏡安裝在擴(kuò)束鏡與外光路護(hù)套之間，機(jī)架的中間安裝高倍顯微鏡，高倍顯微鏡的上方與外光路護(hù)套相連，且其下方的物鏡聚焦的綠激光直達(dá)精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)，機(jī)架的下方安裝二維數(shù)控工作臺(tái)，二維工作臺(tái)的上面裝有精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)和探針。本實(shí)用新型利用精細(xì)聚焦的高峰值功率脈沖綠激光光斑，作為精密修切的光刀，配以實(shí)時(shí)自動(dòng)檢測(cè)和精密移位工作臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)電阻、電路和傳感器等器件作高精度自動(dòng)修切調(diào)整，使電阻調(diào)節(jié)、斷點(diǎn)刻蝕和圖案標(biāo)刻一氣呵成。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人武漢華工激光工程有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人盧飛星;陳澤民;邱忠明;汪宏志;游立德;
- 地址430223湖北省武漢市華中科技大學(xué)科技園華工科技激光產(chǎn)業(yè)園
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200620172515.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2006年12月22日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN200994226Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2007年12月19日
- 分類號(hào)H05K3/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);H05K13/06(2006.01);
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