摘要：本實用新型涉及一種AFM的重定位系統(tǒng)，包括PC機、微控制器、光信號處理電路模塊、高壓驅動器和操作平臺，PC機通過線路連接微控制器，微控制器與PC機的連接線路上并聯(lián)針尖偏移前饋補償電路模塊，微控制器通過線路分別連接第一A/D轉換模塊、第二A/D轉換模塊、D/A轉換模塊和魯棒控制器，第一A/D轉換模塊通過線路連接光信號處理電路模塊，D/A轉換模塊通過線路連接高壓驅動器，第二A/D轉換模塊通過線路連接位移信號處理電路模塊。本實用新型有益效果：采用魯棒控制器、探針針尖偏移量前饋補償和壓電陶瓷掃描器組合控制方式，使系統(tǒng)仍能保持預期的性能，重復定位精確度高，速度快，具有良好的跟蹤能力和重定位效果。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州海茲思納米科技有限公司;
- 發(fā)明人唐沈健;孫鑫;陳前春;李立強;
- 地址215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園A4樓105
- 申請?zhí)?/b>CN201020272000.4
- 申請時間2010年07月27日
- 申請公布號CN201773112U
- 申請公布時間2011年03月23日
- 分類號G01Q10/06(2010.01)I;
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