摘要：本實用新型公開了一種液體回流管，包括：依次連接的氣體緩沖罐(7)、連接管(5)和中空管(2)，所述中空管(2)上設(shè)有若干進液接頭(3)，可使液體順利排出，不產(chǎn)生液體飛濺，避免對硅片二次污染。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人昝威;裴立坤;何金群;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201020629853.9
- 申請時間2010年11月23日
- 申請公布號CN201954184U
- 申請公布時間2011年08月31日
- 分類號F16L55/02(2006.01)I;
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