摘要：直驅(qū)式納米級精密定位平臺，它涉及微納米定位領(lǐng)域，具體涉及一種直驅(qū)式納米級精密定位平臺。本實用新型為解決目前微納米定位領(lǐng)域壓電陶瓷直接連驅(qū)動結(jié)構(gòu)器件增大壓電陶瓷的損壞幾率的問題。所述微動臺包括臺體、頂絲、頂塊、封裝式壓電陶瓷、螺釘、柔性鉸鏈和移動板，臺體內(nèi)開有凹槽，封裝式壓電陶瓷裝在凹槽內(nèi)，封裝式壓電陶瓷的底座部通過螺釘與臺體固定，封裝式壓電陶瓷的移動端外部套裝頂塊，封裝式壓電陶瓷的移動端及頂塊的一端頂靠在柔性鉸鏈上，頂絲穿過頂塊頂靠在封裝式壓電陶瓷的移動端上，柔性鉸鏈圍成為長方形嵌在臺體內(nèi)，移動板設(shè)在柔性鉸鏈上且二者制成一體。本實用新型用于微納米級精密運動及控制領(lǐng)域。
- 專利類型實用新型
- 申請人哈爾濱芯明天科技有限公司;
- 發(fā)明人陳峰;鄧恩坤;
- 地址150080 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)漢廣街41號
- 申請?zhí)?/b>CN201220411967.5
- 申請時間2012年08月20日
- 申請公布號CN202695554U
- 申請公布時間2013年01月23日
- 分類號H01L41/09(2006.01)I;
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