一種帶有破空功能的分子泵

　　摘要：本實用新型公開了一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體，所述的分子泵泵體上分別設(shè)有兩個中間進氣口和一個分子排氣口，所述的分子泵泵體上分子排氣口處還設(shè)有分子泵破空閥，所述的分子泵破空閥還連接有過濾一體化節(jié)流裝置。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，所用材料為常規(guī)材料，成本低，延長了分子泵的使用壽命，能使分子泵在停止工作后從高轉(zhuǎn)速快速降至停止?fàn)顟B(tài)。

專利類型實用新型
申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
發(fā)明人張志;胡眉;
地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)天達路71號華億科技園B幢皖儀大廈
申請?zhí)?/b>CN201220257850.6

申請時間2012年06月02日

申請公布號CN202732472U

申請公布時間2013年02月13日

分類號F04D29/40(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;F04D29/70(2006.01)I;

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