摘要：本實(shí)用新型涉及一種轉(zhuǎn)速精密在線測(cè)量系統(tǒng)，包括光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)模塊、數(shù)據(jù)采集模塊和數(shù)據(jù)解析和結(jié)果表示模塊，所述光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)模塊包括準(zhǔn)直用激光光源、測(cè)量用掃描激光光源、波分耦合器、光纖環(huán)形器、光波分光光纖、與數(shù)據(jù)采集模塊相連的檢測(cè)器和設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上的反射鏡，波分耦合器的一端分別與準(zhǔn)直用激光光源和所述檢測(cè)器相連，波分耦合器的另一端與光波分光光纖相連，光纖環(huán)形器的一端分別與測(cè)量用掃描激光光源和檢測(cè)器相連，光纖環(huán)形器的另一端與光波分光光纖相連，所述光波分光光纖的兩個(gè)出光口的前方均設(shè)有透鏡。本實(shí)用新型的有益效果為：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便，具有非接觸、測(cè)量的精度和靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發(fā)明人雷楓;李少博;文孝明;
- 地址100085 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號(hào)8號(hào)樓415室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320162592.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年04月03日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203324296U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年12月04日
- 分類號(hào)G01P3/36(2006.01)I;
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