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    一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子

      摘要:本實用新型涉及一種轉(zhuǎn)子,尤其涉及一種用于分子泵的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子,包括轉(zhuǎn)子主體,轉(zhuǎn)子主體為中空筒體,其內(nèi)部中心設(shè)置有轉(zhuǎn)軸安裝孔,轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑,在轉(zhuǎn)子主體的外表面挖設(shè)有螺旋形牽引級溝槽,牽引級溝槽的深度從上到下逐漸變淺;每相鄰兩個螺旋形牽引級溝槽之間的槽壁設(shè)置成葉片;本實用新型根據(jù)氣體的物理特性,牽引級溝槽與分子泵融合到一體,既獲得了高抽速,又獲得了較大的壓縮比,另外,采用轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑,使轉(zhuǎn)子頂端的葉片尺寸增大,即分子泵進氣端葉片尺寸增大,同時優(yōu)化了轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁的曲線,使轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁曲線進一步內(nèi)凹,從而提高了抽速,并減輕了轉(zhuǎn)子的重量,減小轉(zhuǎn)子對軸承的壓力。
    • 專利類型實用新型
    • 申請人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
    • 發(fā)明人劉敏強;郁晉軍;董欣;于天化;
    • 地址102600 北京市大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
    • 申請?zhí)?/b>CN201320578331.4
    • 申請時間2013年09月18日
    • 申請公布號CN203488434U
    • 申請公布時間2014年03月19日
    • 分類號F04D29/32(2006.01)I;
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