摘要：一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置，該裝置與石英反應(yīng)管的升降裝置配合使用，升降裝置包括與反應(yīng)管相接觸的接口法蘭；該裝置包括平移驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、直線導(dǎo)軌、支撐臂和用于可分離地固定石英反應(yīng)管輔助支撐結(jié)構(gòu)；在裝載過程中，該輔助支撐結(jié)構(gòu)安裝在支撐臂上，通過平移驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對(duì)接，以及支撐臂沿直線導(dǎo)軌將石英反應(yīng)管平移到升降裝置接口法蘭相對(duì)接，平穩(wěn)完成了石英反應(yīng)管的裝卸過程。因此,本實(shí)用新型可以減少反應(yīng)管安裝的時(shí)間和風(fēng)險(xiǎn)，方便設(shè)備裝配及維護(hù)人員的操作。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 分類號(hào)B62B3/04(2006.01)I;
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