摘要：本實用新型公開了一種硅片烘干機，包括支架，支承于支架上的烘干腔體，所述烘干腔體左右兩側(cè)設置有硅片籃進口與硅片籃出口，在所述支架上還設置有貫穿硅片籃進口與硅片籃出口的滑軌，在所述支架上還可移動地支承有與滑軌平行的拉桿，在所述拉桿上鉸支有推送爪，所述拉桿由往復直線運動機構(gòu)驅(qū)動。該硅片烘干機不僅能滿足每一生產(chǎn)節(jié)拍輸出多個硅片籃的烘干要求，而且各硅片籃烘干輸出后具有確定的位置。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海思恩電子技術(shù)（東臺）有限公司;
- 發(fā)明人倪加樂;滕明;顧小蘭;
- 地址224200 江蘇省鹽城市東臺市城東新區(qū)東進大道48號
- 申請?zhí)?/b>CN201420010716.5
- 申請時間2014年01月09日
- 申請公布號CN203687556U
- 申請公布時間2014年07月02日
- 分類號F26B15/12(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;
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