摘要：本實用新型氮化硅薄膜窗口，包括：襯底，在所述襯底上鍍有氮化硅膜；所述氮化硅膜的形狀和尺寸與所述襯底的形狀和尺寸相同；觀測溝槽，多個所述觀測溝槽設置在所述襯底上，所述觀測溝槽貫穿所述襯底；標記溝槽，所述標記溝槽設置在所述襯底上，所述標記溝槽貫穿所述襯底；其中所述觀測溝槽及所述標記溝槽為一倒置的正四棱臺空穴結構，底面開口位于所述襯底上部、頂面開口位于所述襯底下部。本實用新型氮化硅薄膜窗口實現(xiàn)了保證軟X射線高透過率的同時，也保證了較好的應力。同時可以實現(xiàn)多樣品的測量，對比效果更好。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海納騰儀器有限公司;
- 發(fā)明人王晟;
- 地址201616 上海市松江區(qū)小昆山鎮(zhèn)秦安街18號A區(qū)3號房H座
- 申請?zhí)?/b>CN201420467096.8
- 申請時間2014年08月19日
- 申請公布號CN204087838U
- 申請公布時間2015年01月07日
- 分類號G21K7/00(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I;
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