摘要：本實用新型涉及一種可調(diào)真空壓力的電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，包括：第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室；所述電感耦合等離子體質(zhì)譜儀進一步包括：第一調(diào)諧部件，所述第一調(diào)諧部件為泵，與各級真空室相連，調(diào)節(jié)所述各級真空室的壓力；第二調(diào)諧部件，所述第二調(diào)諧部件使各級真空室相互連通，調(diào)節(jié)所述各級真空室之間的壓力。本實用新型具有優(yōu)化降低空間電荷效應，改善抗質(zhì)譜干擾和非質(zhì)譜干擾效果，優(yōu)化離子傳輸?shù)葍?yōu)點。
- 專利類型實用新型
- 申請人聚光科技（杭州）股份有限公司;杭州譜育科技發(fā)展有限公司;
- 發(fā)明人梁炎;劉立鵬;鄭毅;李剛強;陳斌;楊凱;滕恩江;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區(qū)濱安路760號
- 申請?zhí)?/b>CN201420872348.5
- 申請時間2014年12月31日
- 申請公布號CN204464235U
- 申請公布時間2015年07月08日
- 分類號H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I;
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