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    精密對位平臺

      摘要:本實用新型提供了一種精密對位平臺,所述精密對位平臺包括:下基板和位于所述下基板之上的上平臺;第一絲杠和第一支撐平臺;第二絲杠和第二支撐平臺;第三絲杠和第三支撐平臺;第四支撐平臺;所述第一絲杠、所述第二絲杠和所述第三絲杠均設(shè)置在所述下基板上;所述第一絲杠和第三絲杠垂直所述第二絲杠,所述第一支撐平臺、第二支撐平臺和第三支撐平臺呈等腰直角三角形布置;所述第四支撐平臺包括:下石板和設(shè)置在所述下石板之上的上石板,所述下石板固定在所述下基板上,所述上石板固定連接所述上平臺。本實用新型提高了整個系統(tǒng)的運行精度及負(fù)載能力,簡化了精密對位平臺的整體結(jié)構(gòu),降低了制作安裝難度和成本。
    • 專利類型實用新型
    • 申請人北京卓立漢光儀器有限公司;
    • 發(fā)明人杜勉珂;劉瑞強;
    • 地址101102 北京市中關(guān)村科技園區(qū)通州園金橋產(chǎn)業(yè)基地環(huán)科中路16號聯(lián)東U谷中試區(qū)68號B座
    • 申請?zhí)?/b>CN201520515188.3
    • 申請時間2015年07月16日
    • 申請公布號CN204771596U
    • 申請公布時間2015年11月18日
    • 分類號B23Q1/25(2006.01)I;
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