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    一種應(yīng)用于測量檢測領(lǐng)域高精度氣浮旋轉(zhuǎn)運動部件的氣源處理裝置

      摘要:本實用新型公開了一種應(yīng)用于測量檢測領(lǐng)域高精度氣浮旋轉(zhuǎn)運動部件的氣源處理裝置,包括上蓋,法蘭盤,密封圈,筒體,下蓋,底座,上內(nèi)芯,中內(nèi)芯,下內(nèi)芯以及筒體內(nèi)填充物活性炭,硅膠,脫脂棉和定性濾紙。其中法蘭盤和下蓋與筒體焊接為一體,下內(nèi)芯裝在筒體內(nèi)并在其上填充定性濾紙,定型濾紙上填充活性炭,活性炭上再填充定型濾紙,定型濾紙上再填充脫脂棉,脫脂棉上填充定型濾紙,然后在定性濾紙上裝中內(nèi)芯,中內(nèi)芯上裝上內(nèi)芯,上內(nèi)芯內(nèi)填充硅膠,再在上內(nèi)芯上填充定型濾紙,最后在法蘭盤上裝密封圈和上蓋并用螺栓固定。本實用新型可以對氣源進(jìn)行干燥除塵除油處理,適合有氣浮轉(zhuǎn)臺和氣浮運動部件的測量檢測儀器,可以提高儀器精度和使用壽命。
    • 專利類型實用新型
    • 申請人陜西威爾機(jī)電科技有限公司;
    • 發(fā)明人范厚杰;馬丁;趙寶云;
    • 地址710065 陜西省西安市高新區(qū)丈八二路16號
    • 申請?zhí)?/b>CN201520877816.2
    • 申請時間2015年11月06日
    • 申請公布號CN205216419U
    • 申請公布時間2016年05月11日
    • 分類號B01D46/00(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I;
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