摘要：本實用新型涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設(shè)置有兩個以上，氣體經(jīng)過第一管體分流至兩個以上的波紋管中，流過波紋管的氣體再經(jīng)過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進(jìn)、出氣口同心布置，波紋管的管長方向垂直于進(jìn)氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管關(guān)于該軸心對稱布置。由于波紋管關(guān)于進(jìn)氣口的軸心對稱布置且與軸心垂直，這樣各波紋管的拉伸和壓縮變形被互相抵消，而第一、二管體是剛性的，這樣抽氣時真空泵和真空腔體之間就不會發(fā)生位移；同時，由于這里設(shè)置了波紋管，這樣真空泵的振動也不會傳遞給真空腔體，起到很好的隔振效果。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽萬瑞冷電科技有限公司;哈爾濱工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人何超峰;丁先庚;王輝;劉彥武;郁歡強(qiáng);董相文;孫興中;戴建彪;張海峰;卞榮耀;李陽;陳耀鋒;張俊峰;武義鋒;章學(xué)華;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)海棠路189號
- 申請?zhí)?/b>CN201620207524.2
- 申請時間2016年03月16日
- 申請公布號CN205447065U
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號F16L39/04(2006.01)I;F16L27/11(2006.01)I;
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