摘要：本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟支撐密封裝置，其包括驅(qū)動裝置、傳動裝置、驅(qū)動軸、法蘭構(gòu)件、和支撐軸，所述驅(qū)動裝置與所述傳動裝置相連，所述傳動裝置與所述驅(qū)動軸相連，所述法蘭構(gòu)件的下端與所述驅(qū)動軸的上端連接，所述法蘭構(gòu)件的上端與所述支撐軸連接，所述驅(qū)動軸、所述支撐軸和所述法蘭構(gòu)件圍合形成法蘭密封腔；本實(shí)用新型的目的是提供一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟支撐密封裝置以解決現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)裝置支撐剛性較低，難以保證旋轉(zhuǎn)裝置上石英舟的水平性，且支撐密封裝置的結(jié)構(gòu)不緊湊、占用空間大，導(dǎo)致石英舟產(chǎn)量低的問題。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人郝琪;林欣家;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201521133777.1
- 申請時間2015年12月30日
- 申請公布號CN205452252U
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號H01L21/673(2006.01)I;
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