HPR-80 (Quantitative Gas Analyser for Reactive/Corrosive Species)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

應(yīng)用：

    · 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 半導(dǎo)體晶片加工研究
    · 真空、等離子體過程
    · 活性物質(zhì)定量分析
    · HF，HCl，HBr，CFC 研究

特點：

    · 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
    · 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
    · 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)可選至 2500 amu
    · 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
    · 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
    · 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
    · 軟件 MASsoft 控制
    · 矩陣反演，歸一化及單峰參考