Hiden IFG200 快速原子轟擊/離子槍（FAB / Ion Gun）是采用技術(shù)的 FAB /離子槍，進(jìn)行靜態(tài)、動(dòng)態(tài) SIMS研究，表面和深度分析。

應(yīng)用：

    · 靜態(tài)、動(dòng)態(tài)SIMS 研究
    · 俄歇電子波譜
    · 離子束濺射
    · 絕緣體的FAB/SIMS 研究
    · 表面科學(xué)研究
    · 光柵 / 深度分析


特點(diǎn)：

    · 2mm 原子或離子束，當(dāng)能量從0.5～5 keV.
    · FAB研究中，電荷交換室，使離子、原子快速交換
    · 靜電偏斜透鏡，以清潔FAB 束
    · 高電流密度，及穩(wěn)定配置
    · 離子束模式中，離子槍的3°偏移量，用于中性粒子的排斥
    · 使用惰性氣體和氧氣的能力
    · 差式泵源減少室內(nèi)氣體
    · 雙燈絲結(jié)構(gòu)容易更換
    · 控制單元與IG20高亮度離子槍完全兼容
    · 加上SIM 和EQS 探針直接完整操作，便于直接光柵速度