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自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào):TP-TPY-2
產(chǎn)品點(diǎn):
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及自動(dòng)控制等點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,率穩(wěn)定波長(zhǎng)度。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶(hù)的需要。
橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào):TP-TPY-2規(guī)格與主要術(shù)標(biāo):
測(cè)量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍:1-10
測(cè)量小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盤(pán)刻度:每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步角:0.014°/步 偏振器方位角范圍:0°- 180°
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性度分別為:0.5nm和0.005
儀器測(cè)量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時(shí))
光學(xué)中心度:80mm
橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào):TP-TPY-2成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計(jì)算機(jī))
主機(jī)重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm
北京恒奧德儀器儀表有限公司
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