硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應用于微電子、光電子工業(yè)， 用于太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規(guī)模粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的應用還在不斷出現(xiàn), 包括用于陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
測量精度高GT901-SiH4泵吸式硅烷檢測儀 產品描述
| 檢測氣體： | 硅烷 SiH4 （電化學傳感器，使用壽命3年） | ||
| 檢測范圍： | 0-20ppm、50ppm可選 | ||
| 分 辨 率： | 0.01ppm（0-50ppm） | ||
| 檢測精度： | ≤±3%（實際濃度，視具體傳感器而定） | ||
| 重 復 性： | ≤±1% | 響應時間： | ≤20秒（T90） |
| 線性誤差： | ≤±1% | 恢復時間： | ≤20秒 |
| 檢測原理： | 電化學原理 | 零點漂移： | ≤±1%（F.S/年） |
| 顯示方式： | LCD 液晶背光顯示 | 報警方式： | 聲光二級報警，≤80分貝 |
| 檢測方式： | 泵吸式，自動抽氣實時檢測，測量結果 | ||
| 數(shù)據(jù)恢復： | 一鍵恢復出廠默認設置，方便快捷，不用擔心誤操作 | ||
| 自動診斷： | 系統(tǒng)檢查：電池電量，顯示，傳感器，硬件故障 | ||
| 防護等級： | IP65 | 工作溫度： | -30℃～+70℃ |
| 防爆等級： | Exia II CT6 （本安型） | 工作濕度： | ≤95%RH無冷凝 |
| 尺 寸： | 134×61×32mm（L×W×H） | 工作壓力： | ≤100Kpa |
| 重 量： | 300g | 工作電源： | 2800mA 可充電鋰電池 |
| 相關配件： | 包裝盒、說明書、充電器、皮套（選配） | ||
