四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。

本儀器的點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另塊數(shù)字表（以分之幾的度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供度為0.05%的恒流源，使測量電流度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，地保護箔膜。儀器配置了本公司的利產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。

2、主機能數(shù)

（1）測量范圍：

可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm

可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程：0.001～0.01mA

0.01～0.10mA

0.10～1.0mA

1.0～10mA

10～100mA

恒流度：各檔均低于±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表：

測量范圍：0～199.99mV

靈敏度：10μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）

輸出電源：≥1000ΩM

（4）供電電源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W

（5）使用環(huán)境：

溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%

無較強的電場干擾，無強光直接照射

（6）重量、體積：

主機重量：7.5kg

體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×度）

 

備注：

等測量時（測電阻率），度<3%

電氣測量時（測電阻），度在0.3%以內(nèi) 

 

備注：

儀器包括：主機臺；測試架（包括臺面）個；四探針頭1個；軟件