編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg