熱式氣體質量流量控制器 型號；HA-S48 32/HMT
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編號
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項目
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S48 32/HMT
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1
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流量規(guī)格
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(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
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2
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調節(jié)閥類型
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電磁調節(jié)閥
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3
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調節(jié)閥靜止狀態(tài)
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常閉
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4
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安裝方向
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任意
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5
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流量控制范圍
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2%-
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6
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流量測量范圍
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(0-100)%
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7
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零點溫漂
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0.6%F.S.(15~35℃)
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8
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響應時間
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2s(T98,設定值的±2%F.S.)
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9
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工作環(huán)境溫度
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5~50℃
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10
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精度保證溫度
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15~35℃
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11
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精度
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±1.0%F.S
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12
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線性
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±0.5%F.S
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13
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重復精度
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±0.2%F.S
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14
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工作壓差范圍
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~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
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15
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耐壓
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3MPa
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16
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漏率
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1×10-8Pa.m3/s(He)
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17
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管路接頭
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1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
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18
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供電電源
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±15VDC(±5%)＋15V,100mA;－15V,200mA
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19
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設定信號
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(0-5)VDC
輸入阻抗>1MΩ
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20
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流量輸出信號
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(0-5)VDC
負載輸出電流能力≤3mA
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21
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電氣接頭
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D-SUB15
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22
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尺寸 (mm)
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113（寬）×121（高）×32（厚）
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