數(shù)字式四探針測(cè)試儀/四探針電阻率測(cè)定儀/四探針測(cè)試儀
型號(hào)：XRS-M-2
一、結(jié)構(gòu)特征
如上圖
二、概述
HAD-M-2型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，它可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。也可測(cè)柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻（簡(jiǎn)稱方阻），換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
本測(cè)試儀可贈(zèng)設(shè)電池供電，適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作！
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用一旋鈕輸入；具有零位、滿度自校功能；自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng)；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
三、基本參數(shù)
1.測(cè)量范圍、分辨率
電 阻： 1.0×10-2～ 2000Ω, 分辨率0.1×10-3～ 0.1×10Ω
電 阻 率： 1.0×10-2～ 200 Ω-cm 分辨率0.1×10-2～ 0.1Ω-cm
方塊電阻： 1.0×10-1～ 2000Ω/□ 分辨率1.0×10-1～ 0.1×10Ω/□
2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長(zhǎng)（或高）度： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3.量程劃分及誤差等級(jí)
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量程
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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基本誤差
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±1%FSB±2LSB
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±1.5%FSB ±4LSB
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4)適配器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電
5)外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重：≤0.5kg
