熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號；DP-S48 32/HMT
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編號 |
項(xiàng)目 |
S48 32/HMT |
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1 |
流量規(guī)格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
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2 |
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
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3 |
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
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4 |
安裝方向 |
意 |
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5 |
流量控制范圍 |
2%- |
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6 |
流量測量范圍 |
(0-100)% |
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7 |
零點(diǎn)溫漂 |
0.6%F.S.(15~35℃) |
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8 |
響應(yīng)時間 |
2s(T98,設(shè)定值的±2%F.S.) |
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9 |
作環(huán)境溫度 |
5~50℃ |
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10 |
度保證溫度 |
15~35℃ |
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11 |
度 |
±1.0%F.S |
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12 |
線性 |
±0.5%F.S |
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13 |
重復(fù)度 |
±0.2%F.S |
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14 |
作壓差范圍 |
~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
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15 |
耐壓 |
3MPa |
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16 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s(He) |
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17 |
管路接頭 |
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
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18 |
供電電源 |
±15VDC(±5%)＋15V,100mA;－15V,200mA |
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19 |
設(shè)定信號 |
(0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
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20 |
流量輸出信號 |
(0-5)VDC 負(fù)載輸出電流能力≤3mA |
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21 |
電氣接頭 |
D-SUB15 |
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22 |
尺寸(mm) |
113（寬）×121（）×32（厚） |
