管式爐 | 爐管尺寸：外徑φ50 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ 溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速度：20℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 工作電源：AC220V/50Hz 額定功率：3KW |
射頻電源 | 信號(hào)頻率：13.56MHz±0.005% 功率輸出范圍：5W-500W 反射功率：200W 射頻輸出接口：5Ω，N-type，female 功率穩(wěn)定度：±0.1% 諧波分量：-50dbc 供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V），頻率50/60Hz 整機(jī)效率：≥70% 功率因素：≥90% 冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷 |
供氣系統(tǒng) | 外形尺寸：600*600*650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：100sccm、200sccm、500sccm 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5%~1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1~4Sec，電特性：10Sec 工作壓差范圍：0.1~0.5MPa 壓力：3MPa 接口：φ6，1/4" 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：φ6 壓力真空表：-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格 截止閥：φ6 |
低真空機(jī)組 | 技術(shù)參數(shù)： 功率：0.4KW（4級(jí)） 極限壓力：5*10-1（Pa） 外型尺寸：600*600*650mm 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管：電阻規(guī) 2.測(cè)量范圍：105—5*10-1Pa 3.測(cè)量路數(shù)：1路 4.控制范圍：5*103—5*10-1Pa 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力AC220V/3A（或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載 6.電源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz 7.功耗：20W |
預(yù)熱爐 | 工作溫度：350℃ 溫度：400℃ 升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 |
