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QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測試模體

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德國QRM
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO
德國QRM
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德國
詳細說明

  QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡,采用雙硅芯片相互垂直、通過塑料支架固定的設計理念,使兩個3 x 3 mm2芯片均呈現數組線狀或點狀圖樣,寬度和直徑從1μm到10μm不等。

  QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試技術參數:

  柱狀部分:

  直徑:5.2 mm

  總長:19.1 mm

  材料:致密塑料

  芯片部分:

  直徑:2.96 mm

  總長:0.66 mm

  材料:硅

  芯片上圖樣尺寸范圍:1μm至10μm

  圖樣深度:5μm至15μm

  對比材料:硅/空氣

  QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡芯片上有一個傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結構均以這樣的方式排布于芯片上,從而使用戶僅通過一次曝光和測量就可以對整個芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評估。

  作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進一步發(fā)展,我們現在推出BarPattern-NANO!

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測試模體

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技術指標

基礎材料:固體塑料(切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm)
模體直徑:5.2毫米
高度:19毫米
硅芯片的措施:3 x 3 x 0.66毫米
芯片上的結構(分辨率):分別為1至10 μm。500至50 LP / mm
芯片材質:
圖案對比硅/空氣

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