產(chǎn)品特點:
小型PVD腔室,專門用于鈣鈦礦蒸鍍
可集成于MBRAUN 手套箱(由過渡艙實現(xiàn)連接)
緊湊型設(shè)計
可用于50x50 mm大小的基板
可實現(xiàn)多源共蒸(4個蒸發(fā)源)
膜厚一致性標(biāo)準(zhǔn)偏差在+/-5%區(qū)間
經(jīng)濟型方案
交貨快
有利于工藝改進和提升
應(yīng)用行業(yè):
鈣鈦礦太陽能電池